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1. (WO2018034188) 光測定装置および光軸調整方法

Pub. No.:    WO/2018/034188    International Application No.:    PCT/JP2017/028608
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 9/02
G01J 3/45
Applicants: NEC CORPORATION
日本電気株式会社
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KAGAWA UNIVERSITY
国立大学法人香川大学
Inventors: AKAGAWA Takeshi
赤川 武志
KUBO Masahiro
久保 雅洋
ABE Katsumi
阿部 勝巳
TAKOH Kimiyasu
田光 公康
ALTINTAS Ersin
アルトゥンタシ エリスィン
OHNO Yuji
大野 友嗣
ARIYAMA Tetsuri
有山 哲理
ISHIMARU Ichiro
石丸 伊知郎
Title: 光測定装置および光軸調整方法
Abstract:
高い測定精度を維持することを可能にした光測定装置を提供する。光測定装置は、被測定物21に光を照射する光源11と、被測定物21からの透過光または反射光を分岐する分岐部31と、分岐された一方の光の位相を変化させる位相変化部41と、分岐された他方の光の位相を維持する位相固定部51と、位相変化部41または位相固定部51に設けられ、光の進行方向を調整するための調整機構と、位相変化部41および位相固定部51のそれぞれから出力される光を干渉させる合波部61と、合波部61によって干渉した光を検出する検出部71と、検出部71で検出される干渉像の輝度値に基づいて調整機構を制御して、位相変化部41または位相固定部51における光の進行方向を調整する制御部81と、を有する。