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1. (WO2018034066) 光源装置および光源装置の駆動方法

Pub. No.:    WO/2018/034066    International Application No.:    PCT/JP2017/023728
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jun 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01M 11/00
G01J 3/46
H01L 27/144
Applicants: INTER ACTION CORPORATION
株式会社インターアクション
Inventors: KITANO Hiroyuki
北野 宏幸
SUZUKI Katsuya
鈴木 克哉
YAMAMOTO Hiromi
山本 浩巳
Title: 光源装置および光源装置の駆動方法
Abstract:
光源装置100は、照射すべき光を出射する光源101と、光源により出射された出射光の色度を測定する色度測定部(分光器)109と、色度調節用フィルタCHA,CHBを出射光Lの光路LP上に出し入れ可能で、色度調節用フィルタの出し入れにより出射光の色度を調節可能な色度調節部120と、色度測定部の測定結果により出射光の色度の変化をモニタリングし、その色度があらかじめターゲットとして設定した色度となるように、色度調節部の色度調節用フィルタの光路LP上における出し入れを制御する制御部400とを有する。これにより、光源装置100は、経時変化および光学部品の仕様ばらつきに対して同じ色味の光を照射することができる。