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1. (WO2018034056) 欠陥検査装置、欠陥検査方法、およびプログラム

Pub. No.:    WO/2018/034056    International Application No.:    PCT/JP2017/022740
Publication Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Jun 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 23/18
G01N 23/04
G01N 23/203
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: KANEKO, Yasuhiko
金子 康彦
Title: 欠陥検査装置、欠陥検査方法、およびプログラム
Abstract:
本発明は、被検査体の受光画像において微小な欠陥および微弱な信号で表された欠陥候補画像を正確に且つ迅速に検出することができる欠陥検査装置、欠陥検査方法、およびプログラムを提供することを目的とする。欠陥検査装置(10)は、画像取得部(I/F16)と、入力部(I/F16)と、露光条件取得部(I/F16)と、記憶部(24)と、露光条件取得部で取得された露光条件、入力部で受け付けられた物理的特徴、および記憶部で記憶された露光情報に基づいて、受光画像に対する画像処理パラメータを決定するパラメータ決定部(処理部22)と、パラメータ決定部(処理部22)で決定された画像処理パラメータに基づいて、受光画像の画像処理を行うことにより、受光画像から被検査体の欠陥候補に対応する画像である欠陥候補画像を抽出する画像処理部(処理部22)と、を備える。