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1. (WO2018034051) 検査装置および検査方法
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国際公開番号: WO/2018/034051 国際出願番号: PCT/JP2017/022333
国際公開日: 22.02.2018 国際出願日: 16.06.2017
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/88][IPC code unknown for G01B 11/30]
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1ー1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
永田 泰史 NAGATA Yasushi; JP
代理人:
吉竹 英俊 YOSHITAKE Hidetoshi; JP
有田 貴弘 ARITA Takahiro; JP
優先権情報:
2016-16042918.08.2016JP
発明の名称: (EN) INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD
(FR) APPAREIL D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置および検査方法
要約:
(EN) Provided is a feature whereby the form of a surface of an object is inspected with high precision. A first region of a to-be-inspected region on the surface of an object is imaged by a first imaging unit, the first region being subjected to a mirroring process. A second region of the to-be-inspected region on the surface of the object is imaged by a second imaging unit, the second region not being subjected to the mirroring process. An inspection unit inspects the form of the first region on the basis of a first captured image obtained by the first imaging unit, and inspects the form of the second region on the basis of a second captured image obtained by the second imaging unit. During imaging, a holding part holds the object so that a positional relationship obtains in which a normal to the first region follows a first direction more so than a second direction. Therefore, the state of the mirror surface in the first region is ascertained in a highly precise manner, and the shape of projections and recesses in the second region is ascertained in a highly precise manner.
(FR) L'invention concerne un élément permettant d'inspecter la forme d'une surface d'un objet avec une précision élevée. Une première région d'une région à inspecter sur la surface d'un objet est imagée par une première unité d'imagerie, la première région étant soumise à un processus de mise en miroir. Une seconde région de la région à inspecter sur la surface de l'objet est imagée par une seconde unité d'imagerie, la seconde région n'étant pas soumise au processus de mise en miroir. Une unité d'inspection inspecte la forme de la première région sur la base d'une première image capturée obtenue par la première unité d'imagerie, et inspecte la forme de la seconde région sur la base d'une seconde image capturée obtenue par la seconde unité d'imagerie. Pendant l'imagerie, une partie de maintien maintient l'objet de telle sorte qu'une relation de position est obtenue, dans laquelle une normale à la première région suit davantage une première direction qu'une seconde direction. Par conséquent, l'état de la surface de miroir dans la première zone est déterminé de manière très précise, et la forme des saillies et des évidements dans la deuxième zone est déterminée de manière très précise.
(JA) 対象物の表面の形態を高精度に検査する技術を提供する。対象物の表面の被検査領域のうち、鏡面処理の対象である第1領域を第1撮像部によって撮像する。また、対象物の表面の被検査領域のうち、鏡面処理の対象でない第2領域を第2撮像部によって撮像する。検査部は、第1撮像部によって得られた第1撮像画像を基に第1領域の形態を検査し、且つ、第2撮像部によって得られた第2撮像画像を基に第2領域の形態を検査する。また、撮像の際には、第1領域の法線が第2方向よりも第1方向に沿う位置関係となるように、保持部が対象物を保持する。このため、第1領域については鏡面の状態が高精度に把握され、第2領域については凹凸の形状が高精度に把握される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)