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1. (WO2018030256) 膜形成方法及び膜形成装置
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Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/030256    国際出願番号:    PCT/JP2017/028188
国際公開日: 15.02.2018 国際出願日: 03.08.2017
IPC:
B05C 5/00 (2006.01), B05C 11/10 (2006.01), B05D 1/26 (2006.01), B05D 3/00 (2006.01), B41J 2/01 (2006.01), G06F 3/041 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025 (JP)
発明者: NOMOTO, Tsuyoshi; (JP).
OKAMOTO, Yuji; (JP)
代理人: KITAYAMA, Mikio; (JP)
優先権情報:
2016-157066 10.08.2016 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMATION METHOD AND FILM FORMATION APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 膜形成方法及び膜形成装置
要約: front page image
(EN)While a substrate is moved relative to an inkjet head, a film is formed on the substrate by discharging droplets from the inkjet head toward the substrate on the basis of pattern data defining a pattern for a film to be formed. The direction of the relative motion of the inkjet head and the substrate is orthogonal to the direction of the smallest measurement in the pattern that is defined by the pattern data. The present invention is capable of forming with high resolution the edges that set the smallest measurement of a pattern using inkjet printing technology.
(FR)Selon l'invention, pendant qu'un substrat est déplacé par rapport à une tête à jet d'encre, un film est formé sur le substrat par évacuation de gouttelettes de la tête à jet d'encre vers le substrat sur base de données de motif définissant un motif pour un film à former. La direction du mouvement relatif de la tête à jet d'encre et du substrat est orthogonale à la direction de la plus petite mesure dans le motif qui est défini par les données de motif. La présente invention permet de former, avec une résolution élevée, les bords qui définissent la plus petite mesure d'un motif à l'aide d'une technologie d'impression à jet d'encre.
(JA)インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させながら、形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータに基づいて、インクジェットヘッドから基板に向けて液滴を吐出させて前記基板に膜を形成する。インクジェットヘッドと基板との相対的な移動方向は、パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する。インクジェット印刷技術を用いて、パターンの最小寸法を与えるエッジを高精細に形成することが可能である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)