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1. (WO2018030256) 膜形成方法及び膜形成装置

Pub. No.:    WO/2018/030256    International Application No.:    PCT/JP2017/028188
Publication Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 04 01:59:59 CEST 2017
IPC: B05C 5/00
B05C 11/10
B05D 1/26
B05D 3/00
B41J 2/01
G06F 3/041
H01L 21/027
Applicants: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
住友重機械工業株式会社
Inventors: NOMOTO, Tsuyoshi
野本 剛
OKAMOTO, Yuji
岡本 裕司
Title: 膜形成方法及び膜形成装置
Abstract:
インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させながら、形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータに基づいて、インクジェットヘッドから基板に向けて液滴を吐出させて前記基板に膜を形成する。インクジェットヘッドと基板との相対的な移動方向は、パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する。インクジェット印刷技術を用いて、パターンの最小寸法を与えるエッジを高精細に形成することが可能である。