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1. (WO2018030122) 極端紫外光生成方法
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国際公開番号: WO/2018/030122 国際出願番号: PCT/JP2017/026513
国際公開日: 15.02.2018 国際出願日: 21.07.2017
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
柳田 達哉 YANAGIDA, Tatsuya; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
PCT/JP2016/07333108.08.2016JP
発明の名称: (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成方法
要約:
(EN) An extreme ultraviolet light generation method according to one aspect of the present application, wherein a droplet is outputted to a first laser irradiation region that is a different region from a plasma generation region, the droplet, having arrived at the first laser irradiation region, is irradiated with a first laser to generate a deformation liquid target, the deformation liquid target, having arrived at a second laser irradiation region that is a different region from the plasma generation region, is irradiated with a second laser to generate a fragment jet target, and at least one portion of the fragment jet target, having arrived at the plasma generation region, is irradiated with a third laser, which propagates in a direction intersecting the propagation direction of the second laser.
(FR) Selon un aspect, la présente invention concerne un procédé de génération de lumière ultraviolette extrême, dans lequel une gouttelette est fournie vers une première région de rayonnement laser, qui est une région différente d'une région de génération de plasma, la gouttelette ayant atteint la première région de rayonnement laser fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un premier laser en vue de générer une cible de liquide de déformation, la cible de liquide de déformation ayant atteint une seconde région de rayonnement laser, qui est une région différente de la région de génération de plasma, fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un deuxième laser en vue de générer une cible de jet de fragment, et au moins une partie de la cible de jet de fragment ayant atteint la région de génération de plasma fait l'objet d'un rayonnement au moyen d'un troisième laser, qui se propage dans une direction croisant la direction de propagation du deuxième laser.
(JA) 本開示の一観点に係る極端紫外光生成方法は、プラズマ生成領域と異なる領域である第1レーザ光照射領域にドロップレットを出力し、第1レーザ光照射領域に到達したドロップレットに対して、第1レーザ光を照射して変形液体ターゲットを生成し、プラズマ生成領域と異なる領域である第2レーザ光照射領域に到達した変形液体ターゲットに対して、第2レーザ光を照射してフラグメントジェットターゲットを生成し、プラズマ生成領域に到達したフラグメントジェットターゲットの少なくとも一部に対して、第2レーザ光の伝搬方向と交差する方向に伝搬する第3レーザ光を照射する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)