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1. (WO2018030060) マスク保持装置
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国際公開番号: WO/2018/030060 国際出願番号: PCT/JP2017/025364
国際公開日: 15.02.2018 国際出願日: 12.07.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者:
米澤 良 YONEZAWA Makoto; JP
代理人:
坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
優先権情報:
2016-15572308.08.2016JP
発明の名称: (EN) MASK HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN DE MASQUE
(JA) マスク保持装置
要約:
(EN) A mask holding device makes it possible to stably rotate a mask fixed on a frame provided in a generally vertical direction. The mask holding device comprises a moving unit mounted on a surface plate, and a mask holding unit 40 mounted on the moving unit. The mask holding unit 40 includes a generally picture-frame-shaped frame 41 for holding a mask M to be inspected in a generally vertical direction, and a rotating mechanism 43 for rotating the frame 41. The rotating mechanism 43 includes a first nut member 433A and a second nut member 433B which are provided in the vicinity of both ends of a frame portion positioned on the lower side of the frame, a first screw member 432A and a second screw member 432B which are respectively in threaded engagement with the first nut member 433A and the second nut member 433B, and a rotational drive unit 431 which rotates the first screw member 432A and the second screw member 432B by different amounts. The moving unit is provided with a first pin 438A and a second pin 438B in a generally vertical direction. The first screw member 432A is provided above the first pin 438A in a position overlapping the first pin 438A in plan view. The second screw member 432B is provided above the second pin 438B in a position overlapping the second pin 438B in plan view.
(FR) Un dispositif de maintien de masque permet de faire tourner de manière stable un masque fixé sur un cadre disposé dans une direction généralement verticale. Le dispositif de maintien de masque comprend une unité mobile montée sur une plaque de surface, et une unité de support de masque 40 montée sur l'unité mobile. L'unité de maintien de masque 40 comprend un cadre généralement en forme de cadre 41 pour maintenir un masque M à inspecter dans une direction généralement verticale, et un mécanisme de rotation 43 pour faire tourner le cadre 41. Le mécanisme de rotation 43 comprend un premier élément d'écrou 433A et un second élément d'écrou 433B qui sont disposés à proximité des deux extrémités d'une portion de cadre positionnée sur le côté inférieur du cadre, un premier élément de vis 432A et un second élément de vis 432B qui sont respectivement en prise filetée avec le premier élément d'écrou 433A et le second élément d'écrou 433B, et une unité d'entraînement en rotation 431 qui fait tourner le premier élément de vis 432A et le second élément de vis 432B selon des quantités différentes. L'unité mobile est pourvue d'une première broche 438A et d'une seconde broche 438B dans une direction généralement verticale. Le premier élément de vis 432A est disposé au-dessus de la première broche 438A dans une position chevauchant la première broche 438A dans une vue en plan. Le second élément de vis 432B est disposé au-dessus de la seconde broche 438B dans une position chevauchant la seconde broche 438B dans une vue en plan.
(JA) 略鉛直方向に設けられたフレームにマスクを固定したまま、安定してマスクを回転させることができる。 定盤に移動部が載置されるともに、移動部にマスク保持部40が載置されており、マスク保持部40は、被検査対象のマスクMを略鉛直方向に保持する略枠状のフレーム41と、フレーム41を回転させる回転機構43と、を有する。回転機構43は、フレームの下側に位置する枠部分の両端近傍に設けられた第1のナット部材433A及び第2のナット部材433Bと、第1のナット部材433A及び第2のナット部材433Bとそれぞれ螺合する第1のネジ部材432A及び第2のネジ部材432Bと、第1のネジ部材432Aと第2のネジ部材432Bとを異なる量だけ回転させる回転駆動部431と、を有する。また、移動部には、第1のピン438A及び第2のピン438Bが略鉛直方向に設けられ、第1のネジ部材432Aは、第1のピン438Aの上方に、平面視において第1のピン438Aと重なる位置に設けられ、第2のネジ部材432Bは、第2のピン438Bの上方に、平面視において第2のピン438Bと重なる位置に設けられる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)