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1. (WO2018030045) 力学量センサおよびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/030045    International Application No.:    PCT/JP2017/024868
Publication Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jul 07 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01P 15/125
B81B 3/00
G01P 15/08
H01L 29/84
Applicants: DENSO CORPORATION
株式会社デンソー
Inventors: TAKETANI Eiichi
竹谷 英一
NODA Yoshitaka
野田 理崇
ABE Ryuichiro
阿部 竜一郎
YOSHIOKA Tetsuo
吉岡 テツヲ
OGAWA Akira
小川 晃
YOSHIDA Yoshinori
吉田 仁紀
SAKAI Minekazu
酒井 峰一
Title: 力学量センサおよびその製造方法
Abstract:
力学量センサは、一部が可動電極(105)として厚み方向に変位可能とされた第1基板(100)と、第2基板(200)と、を備える。第2基板(200)は、犠牲層(202)と、犠牲層(202)を両側から挟む支持層(203)および活性層(201)と、活性層(201)の一部により構成された固定電極(205)と、を有する。活性層(201)に形成された枠状の凹部(204)によって固定電極(205)と活性層(201)のうち固定電極(205)とは異なる部分とが電気的に絶縁されており、第2基板(200)は、固定電極(205)が可動電極(105)に対向するように配置されている。