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1. (WO2018029863) ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2018/029863 国際出願番号: PCT/JP2016/073795
国際公開日: 15.02.2018 国際出願日: 12.08.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
柳田 達哉 YANAGIDA Tatsuya; JP
代理人:
森村靖男 MORIMURA Yasuo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) DROPLET DETECTOR AND EUV LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DÉTECTEUR DE GOUTTELETTES ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE EUV
(JA) ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置
要約:
(EN) This droplet detector (8) may comprise: an irradiation unit (41) for emitting pulsed light (DPL) at a predetermined period and irradiating a plurality of pulsed light (DPL) onto a droplet (DL) moving in a detection region on a trajectory (OT); and a photo-reception unit (42) for receiving pulsed scattered light (PSL) generated by the plurality of pulsed light (DPL) irradiated onto the droplet (DL) being scattered by the droplet (DL).
(FR) Ce détecteur de gouttelettes (8) peut comprendre : une unité d'exposition (41) destinée à émettre une lumière pulsée (DPL) à une période prédéterminée et à exposer à une pluralité de lumière pulsée (DPL) une gouttelette (DL) se déplaçant dans une région de détection sur une trajectoire (OT); et une unité de photo-réception (42) destinée à recevoir la lumière diffusée pulsée (PSL) générée par la pluralité de lumières pulsées (DPL) auxquelles est exposée la gouttelette (DL) qui est diffusée par la gouttelette (DL).
(JA) ドロップレット検出器(8)は、所定周期でパルス光(DPL)を出射し、軌道(OT)上における検出領域を移動するドロップレット(DL)に対して複数のパルス光(DPL)を照射する照射部(41)と、ドロップレット(DL)に照射された複数のパルス光(DPL)がドロップレット(DL)に散乱されて生じるパルス散乱光(PSL)を受光する受光部(42)とを備えてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)