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1. (WO2018025911) SiCヒーター

Pub. No.:    WO/2018/025911    International Application No.:    PCT/JP2017/028028
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Aug 03 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05B 3/14
C03C 3/06
C03C 3/085
C03C 3/087
C03C 3/089
C03C 3/091
C04B 35/569
C04B 41/86
H05B 3/12
H05B 3/20
Applicants: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
住友大阪セメント株式会社
Inventors: NAGATOMO Hiroaki
長友 大朗
UCHIKAWA Yuki
内川 雄貴
MURAKAMI Yoshihiko
村上 嘉彦
Title: SiCヒーター
Abstract:
このSiCヒーターは、薄板状の炭化珪素焼結体と前記炭化珪素焼結体の表面に形成された絶縁被膜とを有する発熱体と、前記発熱体に通電するための一対の電極と、前記発熱体からの熱を断熱しつつ前記発熱体を一面側から保持するヒーターベースと、を備え、前記絶縁被膜は、前記炭化珪素焼結体の前記ヒーターベースと反対側の面に位置し、常温での電気比抵抗が109Ω・cm以上であり、熱膨張率が2×10-6/K以上6×10-6/K以下であり、SiO2をマトリックスとし、B2O3およびAl2O3の少なくとも1つを含む第1の添加成分を1重量%以上35重量%以下含有し、MgOおよびCaOの少なくとも1つを含む第2の添加成分を1重量%以上35重量%以下含有する。