WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2018025855) 被処理体を処理する方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/025855    国際出願番号:    PCT/JP2017/027888
国際公開日: 08.02.2018 国際出願日: 01.08.2017
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/3213 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
発明者: OGAWA Shuhei; (JP).
TOYODA Keigo; (JP).
KIHARA Yoshihide; (JP)
代理人: HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
優先権情報:
2016-154663 05.08.2016 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR PROCESSING SUBJECT TO BE PROCESSED
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN ÉLÉMENT À TRAITER
(JA) 被処理体を処理する方法
要約: front page image
(EN)According to one embodiment of the present invention, a method is provided with: (a) a first step for etching, using plasma generated in a processing container, a subject to be processed, in a state wherein first direction and second direction are maintained to form a first angle, said subject being held by a holding structure; and (b) a second step for etching, using the plasma generated in the processing container, the subject held by the holding structure, said second step being performed after performing the first step, and in a state wherein the first direction and the second direction are maintained to form a second angle.
(FR)Selon un mode de réalisation de la présente invention, un procédé comprend : (a) une première étape de gravure, à l'aide de plasma généré dans un contenant de traitement, d'un élément à traiter, dans un état dans lequel des première et seconde directions sont maintenues afin de former un premier angle, ledit élément étant porté par une structure de support ; (b) une seconde étape de gravure, à l'aide du plasma généré dans le contenant de traitement, de l'élément porté par la structure de support, ladite seconde étape étant exécutée après l'exécution de la première étape, et dans un état dans lequel les première et seconde directions sont maintenues afin de former un second angle.
(JA)一実施形態に係る方法は、(a)第1の向きと第2の向きとが第1の角度を成すように維持された状態において、保持構造体によって保持された被処理体を、処理容器内で発生させたプラズマによってエッチングする第1の工程と、(b)第1の工程の実施後において、第1の向きと第2の向きとが第2の角度を成すように維持された状態において、保持構造体によって保持された被処理体を、処理容器内で発生させたプラズマによってエッチングする第2の工程とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)