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1. (WO2018025781) 電極板
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国際公開番号: WO/2018/025781 国際出願番号: PCT/JP2017/027560
国際公開日: 08.02.2018 国際出願日: 28.07.2017
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065
プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
出願人:
日本新工芯技株式会社 THINKON NEW TECHNOLOGY JAPAN CORPORATION [JP/JP]; 東京都練馬区豊玉北四丁目30番10号 30-10, Toyotamakita 4-chome, Nerima-ku, Tokyo 1760012, JP
発明者:
碇 敦 IKARI Atsushi; JP
藤井 智 FUJII Satoshi; JP
代理人:
吉田 正義 YOSHIDA Tadanori; JP
優先権情報:
2016-15398704.08.2016JP
発明の名称: (EN) ELECTRODE PLATE
(FR) PLAQUE D'ÉLECTRODE
(JA) 電極板
要約:
(EN) This invention is characterized in comprising a plurality of plate-shaped electrode members (32, 34) and a joining part for joining the electrode members (32, 34) together in the thickness direction, the joining part containing boron oxide, melting at 700°C or below, and having a heat resistance allowing the joining part to withstand a temperature of at least 150°C.
(FR) Cette invention est caractérisée en ce qu'elle comprend une pluralité d'éléments d'électrode en forme de plaque (32, 34) et une partie de jonction pour relier les éléments d'électrode (32, 34) dans le sens de l'épaisseur, la partie de jonction contenant de l'oxyde de bore, fondant à 700 °C ou moins, et ayant une résistance à la chaleur permettant à la partie de jonction de résister à une température d'au moins 150° C.
(JA) 複数の板状電極部材(32,34)と、前記電極部材(32,34)同士を厚さ方向に接合する接合部とを備え、前記接合部は、少なくとも150℃に耐える耐熱性を有し、700℃以下で融解し、酸化ホウ素を含有することを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)