WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2018025739) インプリント用硬化性組成物、硬化物、パターン形成方法およびリソグラフィー方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/025739    国際出願番号:    PCT/JP2017/027197
国際公開日: 08.02.2018 国際出願日: 27.07.2017
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), C08F 2/50 (2006.01), C08F 220/20 (2006.01), C07C 49/83 (2006.01), C07C 69/54 (2006.01), C07F 9/53 (2006.01)
出願人: FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620 (JP)
発明者: GOTO Yuichiro; (JP)
代理人: SIKS & CO.; 8th Floor, Kyobashi-Nisshoku Bldg., 8-7, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP)
優先権情報:
2016-151554 01.08.2016 JP
発明の名称: (EN) CURABLE COMPOSITION FOR IMPRINTING, CURED OBJECT, PATTERN FORMATION METHOD, AND LITHOGRAPHY METHOD
(FR) COMPOSITION DURCISSABLE POUR IMPRESSION, OBJET DURCI, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF ET PROCÉDÉ DE LITHOGRAPHIE
(JA) インプリント用硬化性組成物、硬化物、パターン形成方法およびリソグラフィー方法
要約: front page image
(EN)Provided are a curable composition for imprinting that exhibits superior resolution properties when used to produce an ultrafine pattern of 20 nm or less, superior filling properties in a mold for a curable composition for imprinting, and superior mold release properties, as well as a cured object, pattern formation method, and lithography method using said curable composition for imprinting. The curable composition for imprinting contains a monofunctional polymerizable compound, bifunctional polymerizable compounds, and a photoinitiator, wherein the content of the monofunctional polymerizable compound is 5-30 wt. % of the total polymerizable compound, and the content of the bifunctional polymerizable compounds is 70 wt. % or more of the total polymerizable compound, at least one of the bifunctional polymerizable compounds being a bifunctional polymerizable compound in which the number of atoms linking the two polymerizable groups is two or less, and which does not contain an alicyclic structure or an aromatic ring structure, and the content of bifunctional polymerizable compounds that have three or more atoms linking the two polymerizable groups being 30 wt. % or less of the total polymerizable compound.
(FR)L'invention porte sur une composition durcissable pour impression qui présente des propriétés de résolution supérieures lorsqu'elle est utilisée pour produire un motif ultrafin de 20 nm ou moins, des propriétés de remplissage supérieures dans un moule pour une composition durcissable pour l'impression, et des propriétés supérieures de démoulage, ainsi qu'un objet durci, un procédé de formation de motifs et un procédé de lithographie utilisant ladite composition durcissable pour l'impression. La composition durcissable pour impression contient un composé polymérisable monofonctionnel, des composés polymérisables bifonctionnels et un photo-initiateur, la teneur du composé polymérisable monofonctionnel étant de 5 à 30 % en poids. le pourcentage du composé polymérisable total, et la teneur des composés polymérisables bifonctionnels est de 70 % en poids. un pourcentage minimal du composé polymérisable total, au moins un des composés polymérisables bifonctionnels étant un composé polymérisable bifonctionnel dans lequel le nombre d'atomes reliant les deux groupes polymérisables est inférieur ou égale à deux, et qui ne contient pas de structure alicyclique ou de structure cyclique aromatique, et la teneur en composés polymérisables bifonctionnels ayant au moins trois atomes reliant les deux groupes polymérisables étant de 30 % en poids. un pourcentage maximal du composé polymérisable total.
(JA)20nm以下の微細パターンを作製した場合の解像性、インプリント用硬化性組成物のモールドへの充填性およびモールドからの離型性に優れたインプリント用硬化性組成物、ならびに、上記インプリント用硬化性組成物を用いた、硬化物、パターン形成方法、およびリソグラフィー方法の提供。単官能重合性化合物と、2官能重合性化合物と、光重合開始剤とを含むインプリント用硬化性組成物であって、単官能重合性化合物の含有量は、全重合性化合物の5~30質量%であり、2官能重合性化合物の含有量は、全重合性化合物の70質量%以上であり、2官能重合性化合物の少なくとも1種が、2つの重合性基を連結する原子の数が2以下である2官能重合性化合物であり、かつ、脂環構造および芳香環構造を含まず、2つの重合性基を連結する原子の数が3以上である2官能重合性化合物の含有量が、全重合性化合物の30質量%以下である、インプリント用硬化性組成物。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)