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1. (WO2018025738) 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイス

Pub. No.:    WO/2018/025738    International Application No.:    PCT/JP2017/027196
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jul 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/037
G03F 7/004
G03F 7/027
G03F 7/029
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: IWAI Yu
岩井 悠
VANCLOOSTER Stefan
ヴァンクロースター ステファン
JANSSEN Dimitri
ジャンセン デミトリ
BAERT Kasper
バート カスパー
Title: 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイス
Abstract:
低温でも高い閉環率で閉環が可能な感光性樹脂組成物であって、上記感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜のガラス転移温度が高い感光性樹脂組成物、ならびに、上記感光性樹脂組成物を用いた、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイスの提供。複素環含有ポリマー前駆体と、熱塩基発生剤と、第4族元素を含む有機化合物を含む感光性樹脂組成物。