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1. (WO2018025727) 無アルカリガラス基板、積層基板、およびガラス基板の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/025727    International Application No.:    PCT/JP2017/027112
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jul 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: C03C 3/085
C03B 17/06
C03B 25/02
C03C 3/087
C03C 3/093
Applicants: AGC INC.
AGC株式会社
Inventors: NOMURA Shuhei
野村 周平
ONO Kazutaka
小野 和孝
Title: 無アルカリガラス基板、積層基板、およびガラス基板の製造方法
Abstract:
本発明は、シリコン基板とガラス基板を貼り合わせる熱処理工程において、シリコン基板に発生する残留歪が小さいガラス基板およびガラス基板の製造方法を提供する。本発明は、酸化物基準のモル百分率表示で、ZnOを0.1%~10%含有し、50℃~100℃での平均熱膨張係数、200℃~300℃での平均熱膨張係数、200℃~300℃の平均熱膨張係数を50℃~100℃の平均熱膨張係数で除した値が特定範囲である無アルカリガラス基板に関する。