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1. (WO2018025713) ガス制御システム及び該ガス制御システムを備えた成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/025713    International Application No.:    PCT/JP2017/026994
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jul 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/448
C23C 16/52
H01L 21/205
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.
株式会社堀場エステック
Inventors: NISHIZATO, Hiroshi
西里 洋
MINAMI, Masakazu
南 雅和
SAKAGUCHI, Yuhei
坂口 有平
Title: ガス制御システム及び該ガス制御システムを備えた成膜装置
Abstract:
キャリアガスの流量を調節して混合ガス中の材料ガスの流量を制御するガス制御システムにおいて、前記制御限界状況が長時間放置されないようにする。材料が収容されたタンク10にキャリアガスを導入し、該材料が気化した材料ガスを前記キャリアガスとともに前記タンク10から導出するものであって、前記タンク10に導入されるキャリアガスの流量を調節することによって、前記タンク10から導出される材料ガスの流量を制御する流量制御部71と、該流量制御部71によるキャリアガスの流量調節によっては、前記材料ガスの所定性能での流量制御を担保できない状況である制御限界状況を検知し、その旨を出力する制御限界検知部72とを備える。