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1. (WO2018025683) プローブカード、及び検査方法

Pub. No.:    WO/2018/025683    International Application No.:    PCT/JP2017/026606
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 1/073
G01R 31/26
H01L 21/66
Applicants: KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
株式会社日本マイクロニクス
Inventors: KIKUTA Makoto
菊田 誠
ANDO Hidenori
安藤 秀憲
Title: プローブカード、及び検査方法
Abstract:
本発明にかかるプローブカード(100)は、複数のパッド(51)を有するワーク(50)を検査する。プローブカード(100)は、平面状の平面電極(22)を備え、平面電極(22)がワーク(50)と対向するように配置された平面状の二次電池(10)と、ワーク(50)と二次電池(10)との間に配置される電気的接続体(30)と、を備えている。二次電池(10)は、平面電極(22)の任意から配線を引き出せる構造を有している。電気的接続体(30)は、対向するパッド(51)に向けて突出する複数の接触子(31)を有しており、複数の接触子(31)を介して複数のパッド(51)と平面電極(22)とが電気的に接続されている。