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1. (WO2018025683) プローブカード、及び検査方法
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国際公開番号:    WO/2018/025683    国際出願番号:    PCT/JP2017/026606
国際公開日: 08.02.2018 国際出願日: 24.07.2017
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/26 (2014.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS [JP/JP]; 6-8, Kichijojihon-cho 2-chome, Musashino-shi, Tokyo 1808508 (JP)
発明者: KIKUTA Makoto; (JP).
ANDO Hidenori; (JP)
代理人: IEIRI Takeshi; (JP)
2016-151786 02.08.2016 JP
(JA) プローブカード、及び検査方法
要約: front page image
(EN)A probe card (100) according to the present invention inspects a work (50) that has a plurality of pads (51). The probe card (100) is provided with: a planar secondary battery (10) that comprises a planar electrode (22) and is arranged such that the planar electrode (22) faces the work (50); and an electrical connector (30) that is arranged between the work (50) and the secondary battery (10). The secondary battery (10) has a structure wherein a wiring line is able to be led out from the planar electrode (22) at an arbitrary position. The electrical connector (30) has a plurality of contacts (31) which protrude toward the facing pads (51); and the plurality of pads (51) and the planar electrode (22) are electrically connected to each other via the plurality of contacts (31).
(FR)La présente invention concerne une carte sonde (100), laquelle inspecte un travail (50) présentant une pluralité de pastilles (51). La carte sonde (100) comprend : une batterie secondaire (10) plane comportant une électrode plane (22) et agencée de manière que l'électrode plane (22) fasse face au travail (50) ; et un connecteur électrique (30) agencé entre le travail (50) et la batterie secondaire (10). La batterie secondaire (10) présente une structure dans laquelle une ligne de câblage peut être ressortie depuis l'électrode plane (22) vers une position arbitraire. Le connecteur électrique (30) présente une pluralité de contacts (31) qui font saillie vers les pastilles (51) ; et la pluralité de pastilles (51) et l'électrode plane (22) sont connectées électriquement l'une à l'autre par l'intermédiaire de la pluralité de contacts (31).
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)