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1. (WO2018025656) シリコンウェーハ粗研磨用組成物の製造方法、シリコンウェーハ粗研磨用組成物セット、およびシリコンウェーハの研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/025656    International Application No.:    PCT/JP2017/026406
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
B24B 37/00
C09K 3/14
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: MURASE, Takehiko
村瀬 雄彦
TABATA, Makoto
田畑 誠
TANIGUCHI, Megumi
谷口 恵
TSUCHIYA, Kohsuke
土屋 公亮
Title: シリコンウェーハ粗研磨用組成物の製造方法、シリコンウェーハ粗研磨用組成物セット、およびシリコンウェーハの研磨方法
Abstract:
濃縮液の利点と、優れた安定性とを両立することができ、かつエッジロールオフを改善することができるシリコンウェーハ粗研磨用組成物の製造方法を提供する。本発明により提供されるシリコンウェーハ粗研磨用組成物の製造方法は、砥粒、塩基性化合物および水溶性高分子を含むシリコンウェーハ粗研磨用組成物の製造方法である。この製造方法は:前記砥粒および前記塩基性化合物を含むA液を調製する工程と;前記水溶性高分子として、慣性半径が100nm以上である水溶性高分子P1を含むB液を調製する工程と;前記A液と前記B液とを混合する工程と;を包含する。