国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018025655) シリコンウェーハ粗研磨用組成物の濃縮液

Pub. No.:    WO/2018/025655    International Application No.:    PCT/JP2017/026405
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
B24B 37/00
C09K 3/14
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: MURASE, Takehiko
村瀬 雄彦
TANIGUCHI, Megumi
谷口 恵
NUMATA, Keisuke
沼田 圭祐
AKIZUKI, Reiko
秋月 麗子
TSUCHIYA, Kohsuke
土屋 公亮
Title: シリコンウェーハ粗研磨用組成物の濃縮液
Abstract:
希釈後には良好な研磨性能を発揮することが可能であり、かつ安定性に優れたシリコンウェーハ粗研磨用組成物の濃縮液を提供する。本発明により提供されるシリコンウェーハ粗研磨用組成物の濃縮液は、砥粒、塩基性化合物および水溶性高分子を含む。前記濃縮液中における前記砥粒の粒子間距離d[nm]に対する前記水溶性高分子の慣性半径rg[nm]の比[rg/d]は4.7以下である。