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1. (WO2018025539) シリコンインゴットの切断方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ

Pub. No.:    WO/2018/025539    International Application No.:    PCT/JP2017/023606
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Jun 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
B24B 27/06
B28D 5/04
Applicants: SUMCO CORPORATION
株式会社SUMCO
Inventors: HASHIMOTO Daisuke
橋本 大輔
TAJIRI Tomoaki
田尻 知朗
MATAGAWA Satoshi
又川 敏
NAKASHIMA Akira
中島 亮
ETOU Yoshihiro
衛藤 義博
Title: シリコンインゴットの切断方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ
Abstract:
固定砥粒ワイヤーソーを用いて300mmを超える直径を有するシリコンインゴットを切断する際に、ニッケルによる汚染を検出限界未満に抑制することができる方法を提案する。300mmを超える直径を有するシリコンインゴットを、素線の表面に複数の砥粒が固定された固定砥粒ワイヤーを少なくとも1本走行させつつ上記固定砥粒ワイヤーに押し当てて送り込み、上記シリコンインゴットを切断する方法において、上記シリコンインゴットの切断は、30時間以下の切断時間で行うことを特徴とする。