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1. (WO2018025515) 計測装置、露光装置、および物品の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/025515    International Application No.:    PCT/JP2017/022039
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
G01B 11/02
G01B 11/06
G01B 11/30
G03F 9/00
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
キヤノン株式会社
Inventors: MAEDA, Kohei
前田 浩平
TAKAHASHI, Akihiro
高橋 彰宏
FURUSAWA, Manato
古澤 磨奈人
HOMMA, Hideaki
本間 英晃
Title: 計測装置、露光装置、および物品の製造方法
Abstract:
互いに異なる第1方向および第2方向のうちの一方における高さばらつきより他方における高さばらつきの方が大きい面を有する基板に対し、当該面の高さ分布を計測する計測装置は、検出領域内の検出対象箇所の高さを検出する検出部と、前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより走査方向における前記基板の面の高さ分布を求める処理部と、を含み、前記処理部は、前記第1方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第1方向における前記基板の面の高さ分布を第1分布として求め、前記第1分布における高さばらつきが基準値以上か否かを判断し、前記第1分布における高さばらつきが基準値より小さいと判断した場合には、前記第2方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第2方向における前記基板の面の高さ分布を求める。