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1. (WO2018025395) 原子層堆積層を含む積層体、バリアフィルム、およびこれらの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/025395    International Application No.:    PCT/JP2016/073086
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Aug 06 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 16/54
Applicants: TOPPAN PRINTING CO., LTD.
凸版印刷株式会社
Inventors: SATO Jin
佐藤 尽
KANO Mitsuru
加納 満
KOYAMA Hiroshi
小山 浩志
Title: 原子層堆積層を含む積層体、バリアフィルム、およびこれらの製造方法
Abstract:
積層体であって、高分子材料から構成され、かつ、第1の無機物質を含む原子層堆積膜の成膜原料となる前駆体と結合可能な官能基を有する基材と、前記基材の外面の少なくとも一部に配置され、前記前駆体を含む前記原子層堆積膜で構成され、前記前駆体が前記基材の前記外面に位置する前記官能基と結合されたアンダーコート層と、前記アンダーコート層の外面を覆うように配置され、第2の無機物質を含有する機能層と、前記機能層の外面を覆うオーバーコート層と、を備える。