JP2017026632 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法

1. (WO2018021216) 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法

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国際公開番号:		WO/2018/021216		国際出願番号:		PCT/JP2017/026632
国際公開日:		01.02.2018		国際出願日:		24.07.2017

IPC:

G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/02 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)

出願人:

NIDEC-READ CORPORATION [JP/JP]; 10, Tsutsumisoto-cho, Nishikyogoku, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6150854 (JP)

発明者:

OTA Norihiro; (JP)

代理人:

YANAGINO Takao; (JP).
MORIOKA Norio; (JP).
SEKIGUCHI Hisayoshi; (JP).
OHNISHI Hiroto; (JP)

優先権情報:

2016-148507

28.07.2016

発明の名称:

(EN) INSPECTION JIG, SUBSTRATE INSPECTION DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING INSPECTION JIG
(FR) GABARIT D’INSPECTION, DISPOSITIF D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN GABARIT D’INSPECTION
(JA) 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法

要約:

(EN)This inspection jig is provided with: a plurality of substantially bar-shaped probes Pr for bringing leading end portions Pra thereof into contact with a plurality of inspection points of a substrate 100, respectively; a supporting member 300 that supports the probes Pr in a state wherein the leading end portions Pra are disposed to be in contact with the inspection points of the substrate 100; device-side connecting terminals 36 electrically connected to an inspection device main body 2; a plurality of standard disposition electrodes 332, which are electrically connected to the device-side connecting terminals 36, and are disposed in previously set standard disposition; and a conversion block 31, which has a first surface 311 and a second surface 312 on the sides opposite to each other, and in which first electrodes E1 are formed, said first electrodes being disposed on the first surface 311 such that the first electrodes are in contact with the rear end portions Prb of the probes Pr, and second electrodes E2 are formed, said second electrodes being electrically connected to the first electrodes E1, and being disposed on the second surface 312 such that the second electrodes correspond to the standard disposition.
(FR)La présente invention concerne un gabarit d’inspection muni : d’une pluralité de sondes (Pr) sensiblement en forme de barre pour porter des parties d’extrémité avant (Pra) des sondes en contact avec une pluralité de points d’inspection d’un substrat (100), respectivement ; un élément formant support (300) qui soutient les sondes (Pr) dans état dans lequel les parties d’extrémité avant (Pra) sont disposées pour se trouver en contact avec les points d’inspection du substrat (100) ; des terminaux de connexion coté dispositif (36) électriquement connectés à un corps principal de dispositif d’inspection (2) ; une pluralité d’électrodes de disposition standard (332), qui sont électriquement connectées aux terminaux de connexion coté dispositif (36), et qui sont disposées selon une disposition standard précédemment déterminée ; et un bloc de conversion (31), qui présente une première surface (311) et une seconde surface (312) sur les côtés opposés l’un à l’autre, et dans lesquelles des premières électrodes (E1) sont formées, lesdites premières électrodes étant disposées sur la première surface (311) de sorte que les premières électrodes se trouvent en contact avec les parties d’extrémité arrière (Prb) des sondes (Pr), et les secondes électrodes (E2) sont formées, lesdites secondes électrodes étant électriquement connectées aux premières électrodes (E1), et étant disposées sur la seconde surface (312) de sorte que les secondes électrodes correspondent à la disposition standard.
(JA)検査治具は、略棒状の形状を有し、基板１００の複数の検査点に各々の先端部Ｐｒａを接触させるための複数のプローブＰｒと、プローブＰｒを、先端部Ｐｒａを基板１００の検査点にそれぞれ接触させるべく配置した状態で支持する支持部材３００と、検査装置本体２に電気的に接続される装置側接続端子３６と、装置側接続端子３６と導通すると共に予め設定された標準配置で配置された複数の標準配置電極３３２と、互いに対向する第一面３１１と第二面３１２とを有し、第一面３１１にプローブＰｒの後端部Ｐｒｂと接触するように配置された第一電極Ｅ１が形成され、第一電極Ｅ１と導通すると共に第二面３１２に標準配置に対応するように配置される第二電極Ｅ２が形成された変換ブロック３１とを備えた。

指定国:

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).

国際公開言語:	Japanese (JA)
国際出願言語:	Japanese (JA)

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