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1. (WO2018021021) ガスバリア性膜、これを用いたガスバリア性フィルム、およびこれらを用いた電子デバイス、ならびにガスバリア性膜の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/021021 国際出願番号: PCT/JP2017/025316
国際公開日: 01.02.2018 国際出願日: 11.07.2017
IPC:
C23C 14/06 (2006.01) ,B32B 9/00 (2006.01) ,C23C 14/08 (2006.01) ,C23C 16/42 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
9
本質的にグループ11/00~29/00に包含されない特殊な物質からなる積層体
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
08
酸化物
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
22
金属質材料以外の無機質材料の析出に特徴のあるもの
30
化合物,混合物または固溶体の析出,例.ほう化物,炭化物,窒化物
42
けい化物
出願人:
コニカミノルタ株式会社 KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号 2-7-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015, JP
発明者:
森 孝博 MORI, Takahiro; JP
代理人:
八田国際特許業務法人 HATTA & ASSOCIATES; 東京都千代田区二番町11番地9 ダイアパレス二番町 Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084, JP
優先権情報:
2016-14879628.07.2016JP
発明の名称: (EN) GAS BARRIER MEMBRANE, GAS BARRIER FILM USING SAME, ELECTRONIC DEVICE USING SAID GAS BARRIER MEMBRANE OR SAID GAS BARRIER FILM, AND PRODUCTION METHOD FOR GAS BARRIER MEMBRANE
(FR) MEMBRANE BARRIÈRE AUX GAZ, FILM BARRIÈRE AUX GAZ L’UTILISANT, DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE UTILISANT LADITE MEMBRANE BARRIÈRE AUX GAZ OU LEDIT FILM BARRIÈRE AUX GAZ, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE LADITE MEMBRANE
(JA) ガスバリア性膜、これを用いたガスバリア性フィルム、およびこれらを用いた電子デバイス、ならびにガスバリア性膜の製造方法
要約:
(EN) The present invention provides a means with which a gas barrier membrane can satisfy both excellent bending properties and high water-vapor barrier properties in a high-temperature, high-humidity environment. The present invention relates to a gas barrier membrane having a region (a) that satisfies the following expression (1) and the following expression (2) when the composition is represented by M1M2xNy in the atomic composition distribution profile obtained when an XPS composition analysis is performed in the thickness direction. M1M2xNy Expression (1): 0.2 ≤ x ≤ 3.0 Expression (2): 0.6 ≤ y ≤ 1.4 x: Abundance ratio of transition metal M2 atoms with respect to non-transition metal M1 atoms y: Abundance ratio of nitrogen atoms with respect to non-transition metal M1 atoms
(FR) La présente invention décrit un moyen grâce auquel une membrane barrière aux gaz peut satisfaire à la fois à d’excellentes propriétés de flexion et à des propriétés élevées de barrière à la vapeur d’eau, dans un environnement d’humidité et de température élevées. La présente invention concerne une membrane barrière aux gaz qui possède une région (a) qui satisfait l’expression suivante (1) et l’expression suivante (2) lorsque la composition est représentée par M1M2xNy dans le profil de distribution de composition atomique obtenu lorsqu’une analyse de composition XPS est exécutée dans le sens de l’épaisseur. M1M2xNy expression (1) : 0,2 ≤ x ≤ 3,0 expression (2) : 0,6 ≤ y ≤ 1,4 x : rapport d’abondance des atomes du métal de transition M2 par rapport aux atomes du métal non de transition M1 : rapport d’abondance des atomes d’azote par rapport aux atomes du métal non de transition M1.
(JA) 本発明は、ガスバリア性膜において、優れた屈曲性と、高温高湿環境での高い水蒸気バリア性とを両立させるうる手段を提供する。 本発明は、厚さ方向にXPS組成分析を行った際に得られる原子組成分布プロファイルにおいて、組成をM1M2で示した際に、下記式(1)および下記式(2)を満足する領域(a)を有する、ガスバリア性膜に関する。 M1M20.2≦x≦3.0 (1) 0.6≦y≦1.4 (2) x:非遷移金属M1原子に対する遷移金属M2の存在原子比 y:非遷移金属M1原子に対する窒素原子の存在原子比
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)