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1. (WO2018020956) 試料保持具
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国際公開番号: WO/2018/020956 国際出願番号: PCT/JP2017/024133
国際公開日: 01.02.2018 国際出願日: 30.06.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
N
他類に属しない電機
13
静電気の吸引力を用いたクラッチ,把持装置,例.ジョンソン一ラーベック効果を用いたもの
出願人:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
発明者:
赤羽 賢一 AKABANE, Kenichi; JP
優先権情報:
2016-14518825.07.2016JP
発明の名称: (EN) SAMPLE HOLDER
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON
(JA) 試料保持具
要約:
(EN) This sample holder is provided with a disk-shaped ceramic body having an upper surface that serves as a sample holding surface for holding a sample, and an attraction electrode disposed within the ceramic body, wherein: the upper surface of the ceramic body has an annular first peripheral wall provided along the outer periphery of the ceramic body so as to protrude therefrom, and a plurality of protrusions provided on the inner side of the first peripheral wall; and corner parts between the upper surface and lateral surfaces of the first peripheral wall are configured to have rounded surfaces where, when viewed in a cross-sectional plane cutting through the center of the ceramic body in a plan view, the rounded surface located at the outer side of the first peripheral wall has a smaller curvature radius than the rounded surface located at the inner side.
(FR) La présente invention concerne un porte-échantillon comprenant un corps en céramique discoïde pourvu d'une surface supérieure servant de surface de support d'échantillon destinée à contenir un échantillon, et une électrode d'attraction disposée à l'intérieur du corps en céramique. La surface supérieure du corps en céramique présente une première paroi périphérique annulaire disposée le long de la périphérie extérieure du corps en céramique de manière à faire saillie depuis ce dernier, et une pluralité de saillies disposées sur le côté intérieur de la première paroi périphérique. Des parties de coin situées entre la surface supérieure et les surfaces latérales de la première paroi périphérique sont conçues de façon à présenter des surfaces arrondies, la surface arrondie située du côté extérieur de la première paroi périphérique possédant un rayon de courbure inférieur au rayon de courbure de la surface arrondie située du côté intérieur depuis un plan transversal coupant le centre du corps en céramique dans une vue en plan.
(JA) 試料保持具は、上面が試料を保持する試料保持面となる円板状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた吸着電極とを備え、前記セラミック体の上面には、外周に沿って突出して設けられた環状の第1の周壁部と該第1の周壁部の内側に設けられた複数の凸部とを有し、前記第1の周壁部の上面と側面との間の角部がR面になっており、前記セラミック体を平面視による中心を通るように切断した切断面で見たときに、前記第1の周壁部における内側に位置するR面の曲率半径よりも外側に位置するR面の曲率半径のほうが小さい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)