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1. (WO2018020931) 研磨砥粒、その製造方法、それを含む研磨スラリー及びそれを用いる研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/020931    International Application No.:    PCT/JP2017/023456
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jun 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
C09G 1/02
H01L 21/304
Applicants: BAIKOWSKI JAPAN CO., LTD.
株式会社バイコウスキージャパン
Inventors: HOSOI, Daisuke
細井 大祐
MACHIDA, Shingo
町田 新吾
SHIGETA, Takashi
繁田 岳志
Title: 研磨砥粒、その製造方法、それを含む研磨スラリー及びそれを用いる研磨方法
Abstract:
本発明の研磨砥粒は、添加剤で表面が被覆されており、pH8以下でゼータ電位がプラスである無機研磨粒子からなる研磨砥粒である。そして、前記添加剤は、ピコリン酸又はグルタミン酸であることが好ましい。前記無機研磨粒子は、酸化セリウム粒子であることが好ましい。ピコリン酸又はグルタミン酸で表面が被覆されており、pH8以下でゼータ電位がプラスである酸化セリウム粒子からなる研磨砥粒は、ピコリン酸又はグルタミン酸の存在下で酸化セリウムを湿式粉砕する工程を有する研磨砥粒の製造方法で製造された研磨砥粒である。