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1. (WO2018020863) 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/020863    国際出願番号:    PCT/JP2017/021596
国際公開日: 01.02.2018 国際出願日: 12.06.2017
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B05B 7/04 (2006.01), B05B 7/16 (2006.01), B05D 1/02 (2006.01), B05D 3/02 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
発明者: OKAMOTO Yoshiki; (JP).
MIYAMOTO Tetsushi; (JP).
OOMURA Kazuhisa; (JP)
代理人: HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
優先権情報:
2016-147625 27.07.2016 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING COATING FILM, APPARATUS FOR FORMING COATING FILM AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT, APPAREIL DE FORMATION D'UN FILM DE REVÊTEMENT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
要約: front page image
(EN)This method for producing a coating film comprises: a first step for heating a body W to be processed, which comprises a substrate W1 and a projected part W2 provided on the surface of the substrate W1; a second step for obtaining a heated liquid by heating a coating liquid; and a third step for spraying the heated liquid in the form of droplets from a nozzle N onto the surface of the body W to be processed, which has been heated in the first step.
(FR)Ce procédé de production d'un film de revêtement comprend : une première étape de chauffage d'un corps W à traiter, qui comprend un substrat W1 et une partie saillante W2 disposée sur la surface du substrat W1; une seconde étape consistant à obtenir un liquide chauffé par chauffage d'un liquide de revêtement; et une troisième étape de pulvérisation du liquide chauffé sous forme de gouttelettes d'une buse N sur la surface du corps W à traiter, qui a été chauffée dans la première étape.
(JA)塗布膜形成方法は、基板W1と、基板W1の表面に設けられた凸部W2とを含む被処理体Wを加熱する第1の工程と、塗布液を加熱して加熱液体を得る第2の工程と、第1の工程において加熱された後の被処理体Wの表面に対して、加熱液体を液滴の状態にてノズルNから吹き付ける第3の工程を含む。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)