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1. (WO2018020649) 荷電粒子線装置

Pub. No.:    WO/2018/020649    International Application No.:    PCT/JP2016/072263
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 37/20
H01J 37/16
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: SAITOU Tsutomu
齋藤 勉
KOYANAGI Munekazu
小柳 宗和
KAMINO Atsushi
上野 敦史
TAKEUCHI Shuichi
竹内 秀一
SUNAOSHI Takeshi
砂押 毅志
HASHIMOTO Yoichiro
橋本 陽一朗
Title: 荷電粒子線装置
Abstract:
試料の観察・分析が容易な荷電粒子線装置を提供するために、加工用真空チャンバ(104)と、加工用の試料(110)が載置されユーセントリックチルトを有する加工用試料ステージ(106)と、加工用真空チャンバ(104)に接続された観察・分析用真空チャンバ(103)と、加工用真空チャンバ(103)で加工された試料(110)が載置され加工用試料ステージ(105)のユーセントリックチルトの高さと一致するようなユーセントリックチルトを有する観察・分析用試料ステージ(105)と、を有する荷電粒子線装置とする。