WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2018020625) 荷電粒子線装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/020625 国際出願番号: PCT/JP2016/072102
国際公開日: 01.02.2018 国際出願日: 28.07.2016
IPC:
H01J 37/16 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者: SHIGEOKA Kentaro; JP
KATO Takanori; JP
MORITA Kazuhiro; JP
TAKAHASHI Motohiro; JP
MIZUOCHI Masaki; JP
NAKAGAWA Shuichi; JP
SAIDA Masao; JP
代理人: TODA Yuji; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約: front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide a charged particle radiation device capable of performing appropriate vibration suppression control in accordance with a device condition. To achieve the purpose, proposed is a charged particle radiation device provided with: a sample stage for supporting a sample irradiated with a charged particle beam emitted from a charged particle source; and a vacuum chamber for placing the atmosphere in which the sample is disposed in a vacuum state. The charged particle radiation device is provided with: a sensor for detecting vibrations transmitted to the charged particle radiation device; a vibration addition mechanism for vibrating the charged particle radiation device; and a control device for performing feedback control for the vibration addition mechanism in accordance with detection by the sensor, wherein the control device changes a feedback gain of the feedback control in accordance with the type of instruction in a control sequence of the charged particle radiation device.
(FR) L'objet de la présente invention est de fournir un dispositif de rayonnement de particules chargées capable d'effectuer une commande de suppression de vibration appropriée conformément à un état du dispositif. À cet effet, l'invention concerne un dispositif de rayonnement de particules chargées comportant : un étage d'échantillon permettant de supporter un échantillon exposé à un faisceau de particules chargées émis à partir d'une source de particules chargées ; et une chambre à vide permettant de placer l'atmosphère dans laquelle l'échantillon est disposé dans un état de vide. Le dispositif de rayonnement de particules chargées comporte : un capteur permettant de détecter des vibrations transmises au dispositif de rayonnement de particules chargées ; un mécanisme d'addition de vibration permettant de faire vibrer le dispositif de rayonnement de particules chargées ; et un dispositif de commande permettant d'effectuer une commande de rétroaction pour le mécanisme d'addition de vibration conformément à la détection effectuée par le capteur, le dispositif de commande modifiant un gain de rétroaction de la commande de rétroaction conformément au type d'instruction dans une séquence de commande du dispositif de rayonnement de particules chargées.
(JA) 本発明は、装置の状況に応じた適正な制振制御が可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。そのために、荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームが照射される試料を支持する試料ステージと、前記試料が配置される雰囲気を真空状態とする真空チャンバを備えた荷電粒子線装置であって、前記荷電粒子線装置に伝わる振動を検出するセンサと、前記荷電粒子線装置を振動させる加振機構と、前記センサの検出に応じて前記加振機構をフィードバック制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記荷電粒子線装置の制御シーケンスの命令の種類に応じて、前記フィードバック制御のフィードバックゲインを変化させる荷電粒子線装置を提案する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)