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1. (WO2018016384) 静電チャックヒータ
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国際公開番号:    WO/2018/016384    国際出願番号:    PCT/JP2017/025267
国際公開日: 25.01.2018 国際出願日: 11.07.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H05B 3/20 (2006.01), H05B 3/28 (2006.01)
出願人: NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530 (JP)
発明者: TAKEBAYASHI, Hiroshi; (JP).
HIRATA, Natsuki; (JP).
HASEGAWA, Shinya; (JP)
代理人: ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
優先権情報:
2016-141329 19.07.2016 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK HEATER
(FR) RÉCHAUFFEUR DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャックヒータ
要約: front page image
(EN)An electrostatic chuck heater is provided with: an electrostatic chuck; a small zone formation region including a plurality of small zones in which small heater electrodes are wired; a power supply in which a plurality of small heater electrodes are connected in parallel; and a small zone control device which implements a control such that, by utilizing an output ratio with respect to a suppliable output corresponding to each small heater electrode, desired electric power can be supplied to each small heater electrode. Among the plurality of small heater electrodes, a small heater electrode wired in a small zone including a cool spot has a resistance value which is set smaller compared with the other small heater electrodes.
(FR)L’invention concerne un réchauffeur de mandrin électrostatique qui comporte : un mandrin électrostatique ; une région de formation de petites zones incluant une pluralité de petites zones dans lesquelles sont câblées de petites électrodes de réchauffeur ; une alimentation électrique dans laquelle une pluralité de petites électrodes de réchauffeur sont connectées en parallèle ; et un dispositif de commande de petites zones qui met en œuvre une commande telle que, en utilisant un ratio de sortie par rapport à une sortie applicable correspondant à chaque petite électrode de réchauffeur, une puissance électrique désirée peut être appliquée à chaque petite électrode de réchauffeur. Parmi la pluralité de petites électrodes de réchauffeur, une petite électrode de réchauffeur câblée dans une petite zone incluant un point froid présente une valeur de résistance dont le réglage est inférieur à celui des autres petites électrodes de réchauffeur.
(JA)静電チャックヒータは、静電チャックと、小ヒータ電極が配線された小ゾーンを複数有する小ゾーン形成領域と、複数の小ヒータ電極が並列接続された電源と、各小ヒータ電極に対応した供給可能な出力に対する出力割合を利用して所望の電力が各小ヒータ電極へ供給されるように制御する小ゾーン制御装置と、を備えている。複数の小ヒータ電極のうちクールスポットを含む小ゾーンに配線された小ヒータ電極の抵抗値は、他の小ヒータ電極に比べて低く設定されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)