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World Intellectual Property Organization
1. (WO2018016255) 荷電粒子線装置
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国際公開番号:    WO/2018/016255    国際出願番号:    PCT/JP2017/022863
国際公開日: 25.01.2018 国際出願日: 21.06.2017
H01J 37/09 (2006.01), F16F 15/02 (2006.01), F16F 15/08 (2006.01), H01J 37/16 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: ENOMOTO Hirohisa; (JP).
SUZUKI Wataru; (JP)
代理人: ISONO INTERNATIONAL PATENT OFFICE, P.C.; Hulic Toranomon Building, 1-18, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
2016-142136 20.07.2016 JP
(JA) 荷電粒子線装置
要約: front page image
(EN)Provided is a charged particle beam device in which a support body is rigid enough to support a sample chamber while the vibration of the support body is reduced even under the action of a disturbance such as environmental noise, the degree of parallelism of the support body is maintained, and increases in the weight of the support body are suppressed. The support body (4) has: a first member (5) that supports a mounted object and is supported by an anti-vibration mount; second members (6) that have a different thickness than does the first member (5) and that are disposed overlapping the first member (5); securing members (7) for securing the first member (5) and the second members (6); and damping members (8) that have lower rigidity than do the securing members (7) and that are deformed by the difference in variations between the first member (5) and the second members (6).
(FR)L’invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel un corps de support est suffisamment rigide pour supporter une chambre d’échantillon tandis que la vibration du corps de support est réduite même sous l’action d’une perturbation de type bruit environnemental, le degré de parallélisme du corps de support est maintenu, et des accroissements de poids du corps de support sont supprimés. Le corps de support (4) comporte : un premier organe (5) qui supporte un objet monté et qui est supporté par une monture antivibrations ; de deuxièmes organes (6) dont l’épaisseur est différente de celle du premier organe (5) et qui sont disposés de manière à se superposer au premier organe (5) ; des organes de fixation (7) pour la fixation du premier organe (5) et des deuxièmes organes (6) ; et des organes amortisseurs (8) dont la rigidité est inférieure à celle des organes de fixation (7) et qui sont déformés par la différence de variations entre le premier organe (5) et les deuxièmes organes (6).
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)