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1. (WO2018016102) 形状測定装置及び形状測定方法

Pub. No.:    WO/2018/016102    International Application No.:    PCT/JP2017/001720
Publication Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017
IPC: G01B 11/30
G01N 21/892
Applicants: NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION
新日鐵住金株式会社
Inventors: AKAGI, Toshio
赤木 俊夫
KONNO, Yusuke
今野 雄介
HIBI,Atsuhiro
日比 厚裕
FURUYA, Nobuhiro
古家 順弘
SONODA, Takayuki
園田 貴之
NAKAZAKI,Akihito
中崎 昭仁
Title: 形状測定装置及び形状測定方法
Abstract:
【課題】測定対象物の全面全幅に亘って高速かつ微小な粗さむらを検出することが可能な形状測定装置を提供する。 【解決手段】移動する帯状体の表面に対して、帯状体の移動方向上流側から斜めに線状光を照射する光源と、帯状体の表面での線状光の反射光が投影されるスクリーンと、スクリーンに投影された線状光の反射光を撮像する撮像部と、スクリーンに投影された線状光の反射光の光帯の幅分布に基づいて、帯状体の表面粗さ分布を取得する演算処理部と、を備え、帯状体に対する光源の入射角は、帯状体表面の目標表面粗さに応じて設定される、形状測定装置が提供される。