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1. (WO2018016034) 極端紫外光生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2018/016034 国際出願番号: PCT/JP2016/071288
国際公開日: 25.01.2018 国際出願日: 20.07.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
堀 司 HORI Tsukasa; JP
岡崎 信次 OKAZAKI Shinji; JP
代理人:
森村靖男 MORIMURA Yasuo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME UV LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UV EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成装置
要約:
(EN) An extreme UV light generation device may comprise: a chamber which has a plasma generation region inside and in which a target substance is supplied to the plasma generation region from outside; a discharge port provided to the chamber; a magnetic field generation unit configured so as to generate a magnetic field for collecting, at the discharge port, positive ions produced by the plasmification of the target substance in the plasma generation area; an electron discharge unit configured so as to discharge electrons for neutralizing the positive ions; and a discharge pipe which is connected to the discharge port and through which the neutralized substance obtained by neutralizing the positive ions passes.
(FR) L’invention concerne un dispositif de génération de lumière UV extrême qui peut comprendre : une chambre à l’intérieur de laquelle est située une zone de génération de plasma et dans laquelle une substance cible est injectée dans la zone de génération de plasma depuis l’extérieur ; un port de décharge disposé dans la chambre ; une unité de génération de champ magnétique servant à générer un champ magnétique pour la collecte, dans le port de décharge, d’ions positifs produits par la plasmification de la substance cible dans la zone de génération de plasma ; une unité de décharge d’électrons servant à décharger des électrons pour la neutralisation des ions positifs ; et un tube de décharge qui est relié au port de décharge et à travers lequel passe la substance neutralisée obtenue par neutralisation des ions positifs.
(JA) 極端紫外光生成装置は、プラズマ生成領域を内部に有し、プラズマ生成領域に向けて外部からターゲット物質が供給されるチャンバと、チャンバに設けられる排出口と、プラズマ生成領域でのターゲット物質のプラズマ化により生じる陽イオンが排出口に収束するための磁場を発生するよう構成された磁場発生部と、陽イオンを中性化させる電子を放出するよう構成された電子放出部と、排出口に連結され、陽イオンの中性化により得られる中性化物質が通る排出管とを備えてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)