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1. (WO2018008594) ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/008594    International Application No.:    PCT/JP2017/024335
Publication Date: Fri Jan 12 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 04 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 1/62
C01B 32/162
Applicants: MITSUI CHEMICALS, INC.
三井化学株式会社
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
国立研究開発法人産業技術総合研究所
Inventors: ONO Yosuke
小野 陽介
OKUBO Atsushi
大久保 敦
KOHMURA Kazuo
高村 一夫
SEKIGUCHI Atsuko
関口 貴子
KATO Yuichi
加藤 雄一
YAMADA Takeo
山田 健郎
Title: ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法
Abstract:
さらにEUV透過性の高いペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクルを提供する。また、これらを以て高い精度のEUVリソグラフィが可能な、露光原版、半導体装置の製造方法を提供する。支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが200nm以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートを含み、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が100nm以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向している、露光用ペリクル膜。