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1. (WO2018008164) 高周波電源装置、及び高周波電源装置の制御方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/008164 国際出願番号: PCT/JP2016/076299
国際公開日: 11.01.2018 国際出願日: 07.09.2016
IPC:
H05H 1/46 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01) ,H03H 7/30 (2006.01)
出願人: KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD.[JP/JP]; 29-1, Heiancho 2-chome, Tsurumi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2300031, JP
発明者: YUZURIHARA, Itsuo; JP
OHMA, Ryosuke; JP
代理人: SHIONOIRI, Akio; JP
優先権情報:
2016-13605808.07.2016JP
発明の名称: (EN) HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE, AND CONTROL METHOD FOR HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À HAUTE FRÉQUENCE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE POUR DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À HAUTE FRÉQUENCE
(JA) 高周波電源装置、及び高周波電源装置の制御方法
要約: front page image
(EN) The present invention shortens the time required to detect the frequency at which the reflection coefficient or reflected power is a minimum by specifying a frequency sweeping direction in which the reflection coefficient or reflected power moves toward a minimum in frequency control that realizes impedance matching for a high-frequency power supply device by performing frequency sweeping. Frequency control that realizes impedance matching for a high-frequency power supply device is performed using two step control consisting of: (A) phase control of specifying a frequency sweeping direction in which the reflection coefficient or reflected power moves toward a minimum on the basis of a phase state of an oscillation frequency, and initiating increasing/decreasing of the frequency in the specified sweeping direction; and (B) reflected power control of making a reflection coefficient or reflection quantity be a control finish condition at which frequency control is finished.
(FR) La présente invention raccourcit le temps nécessaire pour détecter la fréquence à laquelle le coefficient de réflexion ou la puissance réfléchie est minimal en spécifiant une direction de balayage de fréquence dans laquelle le coefficient de réflexion ou la puissance réfléchie se déplace vers un minimum dans la commande de fréquence qui réalise l'adaptation d'impédance pour un dispositif d'alimentation électrique à haute fréquence en effectuant un balayage de fréquence. La commande de fréquence qui réalise l'adaptation d'impédance pour un dispositif d'alimentation électrique à haute fréquence est réalisée en utilisant une commande en deux étapes qui comprend : (A) une commande de phase consistant à spécifier une direction de balayage de fréquence dans laquelle le coefficient de réflexion ou la puissance réfléchie se déplace vers un minimum sur la base d'un état de phase d'une fréquence d'oscillation, et à initier une augmentation/diminution de la fréquence dans la direction de balayage spécifiée ; et (B) une commande de puissance réfléchie consistant à amener un coefficient de réflexion ou une quantité de réflexion à être une condition de fini de commande à laquelle la commande de fréquence est terminée.
(JA) 高周波電源装置の周波数掃引によってインピーダンス整合を行う周波数制御において、反射係数や反射電力が極小に向かう周波数の掃引方向を特定することによって、反射係数や反射電力が極小となる周波数を検出するまでに要する時間を短縮する。高周波電源装置のインピーダンス整合を行う周波数制御を、(A)反射係数や反射電力が極小に向かう周波数の掃引方向を発振周波数の位相状態に基づいて特定し、特定した掃引方向で周波数の増減を開始する位相制御、(B)反射係数又は反射量を周波数制御の制御を完了する制御完了条件とする反射電力制御の二段階の制御によって行う。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)