国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018008051) 検査装置及び検査方法

Pub. No.:    WO/2018/008051    International Application No.:    PCT/JP2016/069731
Publication Date: Fri Jan 12 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 05 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 21/88
G01N 21/956
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: KANAI Hisaaki
金井 久亮
MAKUUCHI Masami
幕内 雅巳
MOHARA Yukihisa
茂原 廉永
IMAI Eiji
今井 栄治
Title: 検査装置及び検査方法
Abstract:
検出システムの内部動作速度の切替時にアイドリング期間を設けることによるスループット低下防止のため、欠陥検査装置を、テーブル部に載置された試料に照明光を照射する光照射部と、試料から発生した散乱光の像を形成して当該散乱光の像をイメージセンサで検出する検出光学系と、散乱光の像を検出した検出光学系のイメージセンサからの信号を受けて散乱光の画像を生成してこの生成した画像を処理して試料の欠陥を検出する画像処理部と、画像処理部で処理した欠陥を含む画像を出力する出力部と、テーブル部と光照射部と検出光学系と画像処理部とを制御する制御部とを備えて構成し、画像処理部は、イメージセンサからの信号を受けて散乱光の画像を生成する画像生成部と、画像生成部で生成した散乱光の画像に発生する色むらを補正する画像補正部と、画像補正部で色むらを補正した画像を処理して試料の欠陥を検出する欠陥検出部とを備えて構成した。