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1. (WO2018003657) 弾性波装置

Pub. No.:    WO/2018/003657    International Application No.:    PCT/JP2017/023045
Publication Date: Fri Jan 05 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: H03H 9/145
H03H 9/25
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KONNO, Akira
紺野 彰
Title: 弾性波装置
Abstract:
レイリー波などの弾性波の高次モードによるスプリアスを小さくし得る弾性波装置を提供する。 素子基板としての圧電基板2上にIDT電極3及び絶縁膜6が設けられている弾性波装置1。IDT電極3の交差領域上において、弾性波伝搬方向一端を第1の端部3a、他端を第2の端部3bとした場合に、第1の端部3a及び第2の端部3bから、弾性波伝搬方向中央に向かうにつれて、絶縁膜6の厚みが薄くまたは厚くなっている。