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1. (WO2018003425) 光学膜形成方法、コンピュータ記憶媒体及び光学膜形成装置
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国際公開番号: WO/2018/003425 国際出願番号: PCT/JP2017/020954
国際公開日: 04.01.2018 国際出願日: 06.06.2017
IPC:
G02B 5/30 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
30
偏光要素
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
池田 文彦 IKEDA, Fumihiko; JP
代理人:
金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo; JP
亀谷 美明 KAMEYA, Yoshiaki; JP
萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi; JP
優先権情報:
2016-12971830.06.2016JP
発明の名称: (EN) OPTICAL FILM FORMING METHOD, COMPUTER STORAGE MEDIUM AND OPTICAL FILM FORMING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM OPTIQUE, SUPPORT DE STOCKAGE PAR ORDINATEUR ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM OPTIQUE
(JA) 光学膜形成方法、コンピュータ記憶媒体及び光学膜形成装置
要約:
(EN) This optical film forming method for forming an optical film on a substrate involves: a first step for forming an optical film by coating the entire surface of the substrate with a coating solution containing an optical material; and a second step for selectively coating, with a fixing material, an optical film formed in a prescribed region of the substrate to fix the optical film in said prescribed region.
(FR) Ce procédé de formation de film optique pour former un film optique sur un substrat comprend : une première étape de formation d'un film optique par revêtement de la totalité de la surface du substrat avec une solution de revêtement contenant un matériau optique; et une seconde étape de revêtement sélectif, avec un matériau de fixation, d'un film optique formé dans une région prescrite du substrat pour fixer le film optique dans ladite région prescrite.
(JA) 基板に光学膜を形成する光学膜形成方法は、基板全面に光学材料を含む塗布液を塗布して光学膜を形成する第1の工程と、基板の所定領域に形成された光学膜に対して定着材を選択的に塗布し、当該所定領域の光学膜を定着させる第2の工程と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)