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1. (WO2018003386) 単結晶製造装置および単結晶製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/003386 国際出願番号: PCT/JP2017/020227
国際公開日: 04.01.2018 国際出願日: 31.05.2017
IPC:
C30B 29/06 (2006.01) ,C30B 11/08 (2006.01)
出願人: CRYSTAL SYSTEMS CORPORATION[JP/JP]; 9633-1, Kobuchisawa-cho, Hokuto-shi, Yamanashi 4080044, JP
発明者: SHINDO, Isamu; JP
代理人: SSINPAT PATENT FIRM; Gotanda Yamazaki Bldg. 6F, 13-6, Nishigotanda 7-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031, JP
優先権情報:
2016-12854629.06.2016JP
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
(FR) APPAREIL DE PRODUCTION D'UN MONOCRISTAL ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MONOCRISTAL
(JA) 単結晶製造装置および単結晶製造方法
要約: front page image
(EN) [Problem] To produce high-quality large single crystals free of grain boundaries which have a composition having a uniform optimum additive density in both the vertical direction and the horizontal direction and which have less negative crystals and exsolution lamellae. [Solution] This apparatus for producing single crystals includes at least: a quartz crucible in which seed crystals are placed at a bottom portion thereof; a powder starting material supplying means that supplies a powder starting material into the quartz crucible; and an infrared irradiation means that irradiates the powder starting material supplied into the quartz crucible by the powder starting material supplying means with infrared radiation. The apparatus for producing single crystals melts the powder starting material by irradiating the inside of the quartz crucible with infrared radiation with the infrared irradiation means and solidifies the powder starting material to produce the single crystals inside the quartz crucible. The apparatus for producing single crystals is configured to supply the powder starting material into the quartz crucible by the powder starting material supplying means while irradiating the supplied powder starting material with infrared radiation with the infrared irradiation means, and to continuously supply the powder starting material into the quartz crucible by the powder starting material supplying means according to the amount of the molten powder starting material that has been solidified.
(FR) Cette invention a pour but la production de monocristaux de grande qualité exempts de joints de grains, présentant une composition ayant une densité d'additifs optimale uniforme à la fois dans la direction verticale et dans la direction horizontale et présentant un nombre moindre de cristaux moins négatifs et de lamelles d'exsolution. L'appareil de production de monocristaux selon l'invention comprend au moins : un creuset en quartz dans lequel des germes cristallins sont placés, sur une partie inférieure de celui-ci; des moyens d'alimentation en matériau de départ en poudre qui distribuent un matériau de départ en poudre dans le creuset en quartz; et des moyens d'irradiation infrarouge qui irradient d'un rayonnement infrarouge le matériau de départ en poudre introduit dans le creuset en quartz par les moyens d'alimentation en matériau de départ en poudre. L'appareil de production de monocristaux fait fondre le matériau de départ en poudre en irradiant d'un rayonnement infrarouge l'intérieur du creuset en quartz par les moyens d'irradiation infrarouge et il solidifie le matériau de départ en poudre pour produire les monocristaux à l'intérieur du creuset en quartz. L'appareil de production de monocristaux est configuré pour distribuer le matériau de départ en poudre dans le creuset en quartz par les moyens d'alimentation en matériau de départ en poudre tout en irradiant d'un rayonnement infrarouge, par les moyens d'irradiation infrarouge, le matériau de départ en poudre distribué. L'appareil est en outre configuré pour distribuer en continu le matériau de départ en poudre dans le creuset en quartz par les moyens d'alimentation en matériau de départ en poudre en fonction de la quantité de matériau de départ en poudre fondu qui a été solidifié.
(JA) [課題]結晶粒界を無くした大型の単結晶であり、さらには垂直方向,水平方向のいずれの方向に対しても組成が最適添加物濃度で均質であり負結晶や離溶ラメラの少ない高品質な単結晶を製造すること。 [解決手段]底部に種子結晶が設置される石英ルツボと、前記石英ルツボ内に粉末原料を供給する粉末原料供給手段と、前記粉末原料供給手段を介して石英ルツボ内に供給された粉末原料に赤外線を照射する赤外線照射手段と、を少なくとも備え、前記赤外線照射手段から前記石英ルツボ内に赤外線を照射することにより前記粉末原料を溶融,固化させ、前記石英ルツボ内で単結晶を製造する単結晶製造装置であって、前記単結晶製造装置は、前記粉末原料供給手段で石英ルツボ内に粉末原料を供給しながら、前記供給された粉末原料に赤外線照射手段で赤外線を照射するとともに、前記粉末原料供給手段が、溶融された粉末原料が固化した分量に応じて、前記粉末原料を前記石英ルツボ内に連続的に供給するよう構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)