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1. (WO2018003002) 活性ガス生成装置及び成膜処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

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国際公開番号:    WO/2018/003002    国際出願番号:    PCT/JP2016/069091
国際公開日: 04.01.2018 国際出願日: 28.06.2016
IPC:
C23C 16/505 (2006.01), C01B 13/11 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01)
出願人: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION [JP/JP]; 3-1-1 Kyobashi, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP)
発明者: NISHIMURA Shinichi; (JP).
WATANABE Kensuke; (JP).
YAMADA Yoshihito; (JP)
代理人: YOSHITAKE Hidetoshi; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ACTIVE GAS-GENERATING DEVICE AND FILM FORMATION APPARATUS
(FR) DISPOSITIF GÉNÉRATEUR DE GAZ ACTIF ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 活性ガス生成装置及び成膜処理装置
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide an active gas-generating device capable of jetting highly uniform active gas. In a central region (R51) of a dielectric electrode (21) according to the present invention, gas-jetting holes (31)-(37) and gas-jetting holes (41)-(47) are provided as three or more gas-jetting holes in the X-direction and are formed together in a two-row configuration along the X-direction. For the gas-jetting holes (31)-(37) and gas-jetting holes (41)-(47) of the two-row configuration, the gas-jetting holes (3i) and the gas-jetting holes (4i) are alternately disposed along the X-direction by providing a difference in the X-direction between the positions at which the gas-jetting hole 31 and gas-jetting hole 41 are formed.
(FR)Le but de la présente invention concerne un dispositif générateur de gaz actif pouvant projeter un gaz actif hautement uniforme. Dans une région centrale (R51) d'une électrode diélectrique (21) selon la présente invention, des trous de projection de gaz (31)-(37) et des trous de projection de gaz (41)-(47) sont disposés sous forme d'au moins trois trous de projection de gaz dans la direction X et sont formés ensemble selon une configuration à deux rangées le long de la direction X. Pour les trous de projection de gaz (31)-(37) et les trous de projection de gaz (41)-(47) de la configuration à deux rangées, les trous de projection de gaz (3i) et les trous de projection de gaz (4i) sont disposés en alternance le long de la direction X en réalisant une différence dans la direction X entre les positions dans lesquelles le trou de projection de gaz 31 et le trou de projection de gaz 41 sont formés.
(JA) 本発明は、均一性の高い活性ガスを噴出することができ活性ガス生成装置を提供することを目的とする。そして、本発明の誘電体電極(21)に関し、中央領域(R51)においてX方向に沿って、3個以上の複数のガス噴出孔として、互いにX方向に沿って2列構成で形成されるガス噴出孔(31)~(37)及びガス噴出孔(41)~(47)が設けられる。そして、ガス噴出孔31とガス噴出孔41との形成位置にX方向の差分が設けられることにより、2列構成のガス噴出孔(31)~(37)及びガス噴出孔(41)~(47)は、X方向に沿ってガス噴出孔(3i)とガス噴出孔(4i)とが交互に配置される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)