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1. (WO2017221631) 保持装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/221631    国際出願番号:    PCT/JP2017/019685
国際公開日: 28.12.2017 国際出願日: 26.05.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP).
ULVAC CRYOGENICS INC. [JP/JP]; 1222-1, Yabata, Chigasaki-shi Kanagawa 2530085 (JP)
発明者: TASHIRO Yukihito; (JP).
ITOH Junichi; (JP).
FUKUMOTO Hidenori; (JP).
HIDAKA Kosuke; (JP).
TERASHIMA Mitsuki; (JP)
代理人: SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
優先権情報:
2016-124984 23.06.2016 JP
発明の名称: (EN) HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN
(JA) 保持装置
要約: front page image
(EN)Provided is a holding device capable of holding an object to be processed in a vacuum chamber in a rotatable manner while the object to be processed is cooled to extremely low temperatures. A holding device HS which holds an object to be processed W in a vacuum chamber Vc in a rotatable manner while the object to be processed is cooled is provided with a stage 1 on which the object to be processed is placed, a rotating drive means 2 which supports the stage in a rotatable manner, and a cooling means 3 which cools the stage. The rotating drive means, with reference to the side of the stage surface with the object to be processed placed thereon being the top, includes: a tubular rotating shaft member 21 mounted penetrating through a wall surface of the vacuum chamber via a vacuum seal 22; a link member 23 linking an upper end portion of the rotating shaft member and a lower surface of the stage in such a way that a space 24 is defined under the stage, and a drive motor 25 which rotationally drives the rotating shaft member. The cooling means includes: a cooling panel 31 disposed in the space under the stage so as to oppose the lower surface of the stage via a gap; a heat transmitting shaft member 32 inserted into the rotating shaft member and abutting on a lower surface of the cooling panel; and a refrigerator 33 for cooling the heat transmitting shaft member.
(FR)L'invention concerne un dispositif de maintien capable de maintenir un objet à traiter dans une chambre sous vide d'une manière rotative pendant que l'objet à traiter est refroidi à des températures extrêmement basses. Un dispositif de maintien HS qui maintient un objet à traiter W dans une chambre sous vide Vc d'une manière rotative pendant que l'objet à traiter est refroidi est pourvu d'une platine (1) sur laquelle est placé l'objet à traiter, d'un moyen d'entraînement rotatif (2) qui supporte la platine de manière rotative, et d'un moyen de refroidissement (3) qui refroidit la platine. Le moyen d'entraînement rotatif, en référence au côté de la surface de la platine sur laquelle est placée l'objet à traiter qui est le dessus, comprend : un élément d'arbre rotatif tubulaire (21) monté de façon à pénétrer à travers une surface de paroi de la chambre sous vide par le biais d'un joint d'étanchéité à vide (22) ; un élément de liaison (23) qui relie une portion d'extrémité supérieure de l'élément d'arbre rotatif et une surface inférieure de la platine de telle sorte qu'un espace (24) est défini sous la platine, et un moteur d'entraînement (25) qui entraîne en rotation l'élément d'arbre rotatif. Le moyen de refroidissement comprend : un panneau de refroidissement (31) disposé dans l'espace sous la platine de manière se trouver à l'opposé de la surface inférieure de la platine avec un espace ; un élément d'arbre de transmission de chaleur (32) inséré dans l'élément d'arbre rotatif et venant en butée sur une surface inférieure du panneau de refroidissement ; et un réfrigérateur (33) destiné à refroidir l'élément d'arbre de transmission de chaleur.
(JA)真空チャンバ内で被処理物を極低温に冷却しながら回転自在に保持することができる保持装置を提供する。 真空チャンバ1内で被処理物Wを冷却しながら回転自在に保持する保持装置HSは、被処理物が設置されるステージ1と、ステージを回転自在に支持する回転駆動手段2と、ステージを冷却する冷却手段3とを備える。被処理物が設置されるステージ面側を上として、回転駆動手段が、真空チャンバの壁面に真空シール22を介して貫装される筒状の回転軸体21と、ステージ下方に空間24が画成されるように回転軸体の上端部とステージの下面とを連結する連結部材23と、回転軸体を回転駆動する駆動モータ25とを有し、冷却手段が、ステージ下方の空間にステージ下面に隙間を存して対向配置される冷却パネル31と、回転軸体に内挿されて冷却パネル下面に当接する伝熱軸体32と、伝熱軸体を冷却する冷凍機33とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)