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国際公開番号: WO/2017/221423 国際出願番号: PCT/JP2016/068919
国際公開日: 28.12.2017 国際出願日: 24.06.2016
IPC:
G01Q 30/04 (2010.01)
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
30
走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段,例.表示装置またはデータ処理装置
04
表示装置またはデータ処理装置
出願人: SHIMADZU CORPORATION[JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
発明者: YAMASAKI, Kenji; JP
KOGURE, Akinori; JP
代理人: KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) DATA PROCESSING APPARATUS FOR SCANNING PROBE MICROSCOPES
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE DONNÉES POUR MICROSCOPES À SONDE DE BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置
要約:
(EN) This data processing apparatus for scanning probe microscopes processes biaxial data that is acquired from multiple measurement points on a sample surface by scanning the sample surface by a probe using a scanning probe microscope and that indicates a change of a second physical amount with respect to a change of a first physical amount, and the data processing apparatus is provided with: a feature amount calculation unit 41 that calculates one or a plurality of types of feature amounts from the biaxial data at the respective measurement points; a feature amount selection unit 42 that causes a user to select one of the feature amounts; a two-dimensional mapping image display unit 43 that displays on a screen a two-dimensional mapping image in which each of the measurement points corresponds to one pixel, on the basis of the feature amount selected by the user; and a biaxial data display unit 44 that displays, on the screen, when the user selects one of the pixels in the two-dimensional mapping image, the biaxial data at the measurement points corresponding to the selected pixel and to one or a plurality of pixels adjacent to the selected pixel.
(FR) La présente invention concerne un appareil de traitement de données pour microscopes à sonde de balayage. L'appareil de l'invention traite des données biaxiales qui sont acquises à partir de multiples points de mesure sur une surface d'échantillon par le balayage de la surface d'échantillon par une sonde au moyen d'un microscope à sonde de balayage et qui indiquent le changement d'une seconde quantité physique par rapport au changement d'une première quantité physique. L'appareil de traitement de données comprend: une unité de calcul de quantité de caractéristique 41 qui calcule un ou plusieurs types de quantités de caractéristique à partir des données biaxiales au niveau des points de mesure respectifs; une unité de sélection de quantité de caractéristique 42 qui amène un utilisateur à sélectionner l'une des quantités de caractéristique; une unité d'affichage d'image de carte bidimensionnelle 43 qui affiche sur un écran une image de carte bidimensionnelle sur laquelle chacun des points de mesure correspond à un pixel, sur la base de la quantité de caractéristiques sélectionnée par l'utilisateur; et une unité d'affichage de données biaxiales 44 qui affiche sur l'écran, quand l'utilisateur sélectionne l'un des pixels sur l'image de carte bidimensionnelle, les données biaxiales au niveau des points de mesure correspondant au pixel sélectionné et à un ou plusieurs pixels adjacents au pixel sélectionné.
(JA) 走査型プローブ顕微鏡を用いて探針で試料表面を走査することにより該試料表面の複数の測定点のそれぞれについて取得された、第1の物理量の変化に対する第2の物理量の変化を示す二軸データを処理する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置において、各測定点における二軸データから1乃至複数種類の特徴量を求める特徴量算出部41と、特徴量のうちの1つを使用者に選択させる特徴量選択部42と、使用者による特徴量の選択に基づいて各測定点を1画素とする二次元マッピング画像として画面表示する二次元マッピング画像表示部43と、二次元マッピング画像における画素の1つが使用者により選択されると、該選択された画素と該画素に隣接する1乃至複数の画素に対応する測定点の二軸データを画面表示する二軸データ表示部44とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)