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1. (WO2017216942) テラヘルツ波測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

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国際公開番号:    WO/2017/216942    国際出願番号:    PCT/JP2016/068028
国際公開日: 21.12.2017 国際出願日: 17.06.2016
IPC:
G01N 21/3586 (2014.01)
出願人: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP)
発明者: SHIRAMIZU Nobuhiro; (JP)
代理人: TODA Yuji; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TERAHERTZ WAVE MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE D'ONDES TÉRAHERTZ
(JA) テラヘルツ波測定装置
要約: front page image
(EN)Conventional systems for measuring continuous terahertz waves, said systems using small and low-cost semiconductor devices as terahertz wave transmission units, have a problem wherein the frequency fluctuation and phase fluctuation of the terahertz wave transmission units are large, and phase accuracy and sensitivity are deteriorated due to the large frequency fluctuation and the large phase fluctuation. The problem is solved by means of this terahertz wave measuring device, which irradiates a subjected to be measured with terahertz waves, and which measures the changed phase and intensity of the terahertz waves, said terahertz measuring device being characterized by having: a first terahertz wave transmission unit that transmits first frequency terahertz waves; a second terahertz wave transmission unit that transmits second frequency terahertz waves; a measurement frequency mixer, which detects changed terahertz waves obtained by irradiating the subject with the first frequency terahertz waves, and the second frequency terahertz waves, and which outputs a measurement intermediate frequency signal, i.e., a difference between a first frequency and a second frequency; a reference intermediate frequency signal transmission unit, which irradiates the subject with the terahertz waves, and which outputs a reference intermediate frequency signal that is a difference between the second frequency and the first frequency, said reference intermediate frequency signal being in synchronization with the first terahertz wave transmission unit and the second terahertz wave transmission unit; and an intermediate frequency signal measuring unit, to which the outputted measurement intermediate frequency signal and the outputted reference intermediate frequency signal are inputted, and which outputs the phase and intensity of the measurement signal at the intermediate frequency.
(FR)Les systèmes classiques de mesure d'ondes térahertz continues, utilisant des dispositifs à semi-conducteurs de petite taille et de faible coût en tant qu'unités de transmission d'ondes térahertz, ont un problème selon lequel la fluctuation de fréquence et la fluctuation de phase des unités de transmission d'onde térahertz sont importantes, et la précision de phase et la sensibilité sont détériorées en raison de la grande fluctuation de fréquence et de la grande fluctuation de phase. La présente invention concerne par conséquent un dispositif de mesure d'onde térahertz qui irradie un sujet à mesurer avec des ondes térahertz, et qui mesure la phase et l'intensité modifiées des ondes térahertz, ledit dispositif de mesure térahertz étant caractérisé en ce qu'il comprend : une première unité de transmission d'ondes térahertz qui émet des ondes térahertz d'une première fréquence ; une seconde unité de transmission d'onde térahertz qui émet des ondes térahertz d'une seconde fréquence ; un mélangeur de fréquence de mesure, qui détecte des ondes térahertz modifiées obtenues en irradiant le sujet avec les ondes térahertz de première fréquence, et les ondes térahertz de seconde fréquence, et qui produit un signal de fréquence intermédiaire de mesure, c'est-à-dire, une différence entre une première fréquence et une seconde fréquence ; une unité de transmission de signal de fréquence intermédiaire de référence, qui irradie le sujet avec les ondes térahertz, et qui produit un signal de fréquence intermédiaire de référence qui est une différence entre la seconde fréquence et la première fréquence, ledit signal de fréquence intermédiaire de référence étant en synchronisation avec la première unité de transmission d'onde térahertz et la seconde unité de transmission d'onde térahertz ; et une unité de mesure de signal de fréquence intermédiaire, dans laquelle le signal de fréquence intermédiaire de mesure produit et le signal de fréquence intermédiaire de référence produits sont entrés, et qui produit la phase et l'intensité du signal de mesure à la fréquence intermédiaire.
(JA)小型で安価な半導体デバイスのテラヘルツ波発信部を用いた連続波のテラヘルツ波を測定するシステムでは、テラヘルツ波発信部の周波数変動や位相変動が大きく、それに起因して位相精度や感度が低下する。 テラヘルツ波を測定対象物に照射し、変化したテラヘルツ波の位相と強度を測定するテラヘルツ波測定装置であって、第一の周波数のテラヘルツ波を発信する第一のテラヘルツ波発信部と、第二の周波数のテラヘルツ波を発信する第二のテラヘルツ波発信部と、前記第一の周波数のテラヘルツ波を測定対象物に照射し変化したテラヘルツ波および前記第二の周波数のテラヘルツ波を検出し、前記第一の周波数と前記第二の周波数の差となる測定中間周波数信号を出力する測定周波数ミキサと、測定対象物にテラヘルツ波を照射し、かつ前記第一のテラヘルツ波発信部および前記第二のテラヘルツ波発信部に同期した前記第一の周波数と前記第二の周波数の差となる参照中間周波数信号を出力する参照中間周波数信号発信部と、出力された前記測定中間周波数信号および前記参照中間周波数信号を入力し、前記中間周波数の測定信号の位相と強度を出力する中間周波数信号測定部とを有することを特徴とするテラヘルツ波測定装置により解決する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)