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1. (WO2017213040) 多層膜の成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/213040    国際出願番号:    PCT/JP2017/020580
国際公開日: 14.12.2017 国際出願日: 02.06.2017
IPC:
C23C 14/54 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01), G02B 1/115 (2015.01), G02B 5/08 (2006.01)
出願人: NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 1-2, Shimohozumi 1-chome, Ibaraki-shi Osaka 5678680 (JP)
発明者: SAKI, Satoru; (JP).
SHUTO, Shunsuke; (JP)
代理人: KUSUMOTO Takayoshi; (JP).
MIKUMO Satoshi; (JP)
優先権情報:
2016-113538 07.06.2016 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMATION METHOD FOR MULTILAYER FILM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM POUR FILM MULTICOUCHE
(JA) 多層膜の成膜方法
要約: front page image
(EN)[Problem] To accurately estimate the thickness of each layer of a multilayer film. [Solution] In the present invention, a target thickness value is set for each layer. A first theoretical optical value achieved when each layer has the target thickness value is determined. A measured optical value is determined for the multilayer film 6. For each layer, the target thickness value is treated as a first estimated thickness value of the film thickness. The difference (first optical value difference) between the measured optical value and the first theoretical optical value is determined and the first optical value difference is compared with a preliminarily set convergence condition. If the first optical value difference does not satisfy the convergence condition, a second estimated thickness value which is expected to provide a smaller optical value difference than the first optical value difference is set for each layer. A theoretical value (second theoretical optical value) of an optical feature achieved when the each layer has the second estimated thickness value is determined. The difference (second optical value difference) between the measured optical value and the second theoretical optical value is determined and the second optical value difference is compared with the convergence condition. The steps are repeated to obtain an estimated thickness value (most probable estimated thickness value) of each layer which provides a difference between the measured optical value and the theoretical optical value of each step which satisfies the convergence condition.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est d'estimer avec exactitude l'épaisseur de chaque couche d'un film multicouche. La solution de l'invention consiste à définir une valeur d'épaisseur cible pour chaque couche. On détermine une première valeur optique théorique obtenue lorsque chaque couche présente la valeur d'épaisseur cible. On détermine une valeur optique mesurée pour le film multicouche 6. Pour chaque couche, la valeur d'épaisseur cible est traitée en tant que première valeur d'épaisseur estimée de l'épaisseur du film. On détermine la différence (première différence de valeur optique) entre la valeur optique mesurée et la première valeur optique théorique puis on compare la première différence de valeur optique à une condition de convergence établie au préalable. Si la première différence de valeur optique ne satisfait pas la condition de convergence, on fixe pour chaque couche une seconde valeur d'épaisseur estimée, censée produire une différence de valeur optique plus petite que la première différence de valeur optique. On détermine une valeur théorique (seconde valeur optique théorique) d'une caractéristique optique obtenue lorsque chaque couche présente la seconde valeur d'épaisseur estimée. On détermine la différence (seconde différence de valeur optique) entre la valeur optique mesurée et la seconde valeur optique théorique et on compare cette seconde différence de valeur optique à la condition de convergence. Les étapes sont répétées pour obtenir une valeur d'épaisseur estimée (valeur d'épaisseur estimée la plus probable) de chaque couche qui produit une différence entre la valeur optique mesurée et la valeur optique théorique de chaque étape qui satisfait la condition de convergence.
(JA)【課題】多層膜の各層の膜厚を精度良く推定する。 【解決手段】 各層の目標膜厚値を設定する。各層が目標膜厚値のときの第1理論光学値を求める。多層膜6の実測光学値を測定する。目標膜厚値を各層の膜厚の第1推定膜厚値とする。実測光学値と第1理論光学値の差(第1光学値差)を求め、第1光学値差を予め設定された収束条件と比較する。第1光学値差が収束条件を満たさない場合、第1光学値差より小さい光学値差が予想される各層の第2推定膜厚値を設定する。各層の膜厚が第2推定膜厚値のときの光学特性の理論値(第2理論光学値)を求める。実測光学値と第2理論光学値の差(第2光学値差)を求め、第2光学値差を収束条件と比較する。各ステップを繰り返して、実測光学値と各ステップの理論光学値の差が収束条件を満たす各層の推定膜厚値(最確推定膜厚値)を得る。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)