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1. (WO2017212970) 積層膜、表示装置及び入力装置
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国際公開番号:    WO/2017/212970    国際出願番号:    PCT/JP2017/019882
国際公開日: 14.12.2017 国際出願日: 29.05.2017
IPC:
G06F 3/041 (2006.01), B32B 9/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP)
発明者: SHIDA Yoko; (--).
GOTO Hiroshi; (--)
代理人: EIKOH PATENT FIRM, P.C.; Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2016-113599 07.06.2016 JP
発明の名称: (EN) MULTILAYER FILM, DISPLAY DEVICE AND INPUT DEVICE
(FR) PELLICULE MULTICOUCHE, DISPOSITIF D’AFFICHAGE ET DISPOSITIF D’ENTRÉE
(JA) 積層膜、表示装置及び入力装置
要約: front page image
(EN)The present invention relates to a multilayer film which is obtained by sequentially laminating a first layer, a second layer and a third layer in this order, and wherein: the first layer is a metal thin film having an electrical resistance of 15 μΩ·cm or less; the second layer is an aluminum nitride film or aluminum alloy nitride film containing from 40% by atom to 61% by atom (inclusive) of nitrogen; and the third layer is an aluminum oxide film or aluminum alloy oxide film containing from 50% by atom to 60% by atom (inclusive) of oxygen, an aluminum oxynitride film or aluminum alloy oxynitride film containing from 50% by atom to 60% by atom (inclusive) of oxygen and from 1% by atom to 10% by atom (inclusive) of nitrogen, or an aluminum nitride film or aluminum alloy nitride film containing from 50% by atom to 60% by atom (inclusive) of nitrogen. A multilayer film according to the present invention is able to provide a multilayer thin film (a low reflection conductive film) which has both low electrical resistance and low reflectance.
(FR)La présente invention porte sur une pellicule multicouche qui est obtenue par stratification séquentielle d’une première couche, d’une deuxième couche et d’une troisième couche dans cet ordre, et telle : que la première couche est une pellicule mince de métal dont la résistance électrique est inférieure ou égale à 15 µΩ .cm; que la deuxième couche est une pellicule de nitrure d’aluminium ou une pellicule de nitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 40 % atomiques et 61 % atomiques (inclus) d’azote ; et que la troisième couche est une pellicule d’oxyde d’aluminium ou une pellicule d’oxyde d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’oxygène, une pellicule d’oxynitrure d’aluminium ou une pellicule d’oxynitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’oxygène et entre 1 % atomiques et 10 % atomiques (inclus) d’azote, ou une pellicule de nitrure d’aluminium ou une pellicule de nitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’azote. Une pellicule multicouche selon la présente invention peut constituer une pellicule mince multicouche (une pellicule conductrice à faible réflexion) présentant à la fois une faible résistance électrique et une faible réflectance.
(JA)本発明は、第1層、第2層及び第3層がこの順に積層された積層膜であって、第1層が電気抵抗率が15μΩ・cm以下である金属薄膜であり、第2層が40原子%以上61原子%以下の窒素を含むアルミニウム窒化膜又はアルミニウム合金窒化膜であり、第3層が50原子%以上60原子%以下の酸素を含むアルミニウム酸化膜若しくはアルミニウム合金酸化膜、50原子%以上60原子%以下の酸素及び1原子%以上10原子%以下の窒素を含むアルミニウム酸窒化膜若しくはアルミニウム合金酸窒化膜、又は50原子%以上60原子%以下の窒素を含むアルミニウム窒化膜若しくはアルミニウム合金窒化膜である積層膜に関する。本発明の積層膜によれば、電気抵抗率と反射率が共に低い、積層薄膜(低反射導電膜)を提供することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)