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1. (WO2017209281) 金スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/209281    国際出願番号:    PCT/JP2017/020617
国際公開日: 07.12.2017 国際出願日: 02.06.2017
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C22F 1/00 (2006.01), C22F 1/14 (2006.01)
出願人: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K. K. [JP/JP]; 7-3, Marunouci 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006422 (JP)
発明者: KATO tetsuya; (JP).
MIZUNO Yohei; (JP).
ISHIKURA Chiharu; (JP)
代理人: SAKURA PATENT OFFICE, P.C.; Yoshizawa Bldg., 18-14, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
優先権情報:
2016-111245 02.06.2016 JP
発明の名称: (EN) GOLD SPUTTERING TARGET
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION D'OR
(JA) 金スパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)Provided is a gold sputtering target that makes increased uniformity of Au film thickness distribution possible. This gold sputtering target is made of gold and unavoidable impurities and has a surface to be sputtered. In said gold sputtering target, the average Vickers hardness value is 40 to 60 and the average crystal grain diameter is 15 µm to 200 µm. In the surface to be sputtered, {110} planes of the gold are preferentially oriented.
(FR)La présente invention concerne une cible de pulvérisation d'or qui rend possible une uniformité accrue de la distribution d'épaisseur d’une pellicule d'Au. Cette cible de pulvérisation d'or est constituée d'or et d'impuretés inévitables et présente une surface à pulvériser. Dans ladite cible de pulvérisation d'or, la valeur moyenne de dureté Vickers est de 40 à 60 et le diamètre moyen des grains cristallins est de 15 µm à 200 µm. Dans la surface à pulvériser, les plans {110} de l'or sont de préférence orientés.
(JA)Au膜の膜厚分布の均一性を高めることを可能にした金スパッタリングターゲットを提供する。本発明の金スパッタリングターゲットは、金および不可避不純物からなり、スパッタされる表面を有する。そのような金スパッタリングターゲットにおいて、ビッカース硬さの平均値が40以上60以下であり、平均結晶粒径が15μm以上200μm以下である。スパッタされる表面には金の{110}面が優先配向している。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)