WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2017209051) チャック、基板保持装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/209051    国際出願番号:    PCT/JP2017/019917
国際公開日: 07.12.2017 国際出願日: 29.05.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
発明者: MATSUMOTO Toru; (JP)
代理人: ABE Takuma; (JP).
KUROIWA Sogo; (JP)
優先権情報:
2016-109651 01.06.2016 JP
発明の名称: (EN) CHUCK, SUBSTRATE HOLDING DEVICE, PATTERN FORMING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE
(FR) MANDRIN, DISPOSITIF DE SUPPORT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIF ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
(JA) チャック、基板保持装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法
要約: front page image
(EN)A chuck according to an embodiment of the present invention comprises a base portion on which a first and a second support portion 10 each having a repeating structure of a projection 11 and a recess 13 are provided. The chuck holds a substrate as the projection 11 abuts the substrate and the recess 13 is evacuated so as to produce a negative pressure in the recess 13 with respect to a space between the first support portion 10 and the second support portion 10. The chuck is characterized in that at least one of the first support portion 10 and the second support portion 10 includes at least four projections 11 and three recesses 13.
(FR)Selon un mode de réalisation de la présente invention, un mandrin comprend une partie de base sur laquelle sont ménagées une première et une seconde partie de support (10) comportant chacune une structure répétée composée d'une saillie (11) et d'un évidement (13). Le mandrin maintient un substrat lorsque la saillie (11) appuie contre le substrat et l'évidement (13) est évacué afin de produire une pression négative dans l'évidement (13) par rapport à un espace entre la première partie de support (10) et la seconde partie de support (10). Le mandrin est caractérisé en ce qu'au moins une de la première partie de support (10) et de la seconde partie de support (10) comporte au moins quatre saillies (11) et trois évidements (13).
(JA)本発明の実施形態に係るチャックは、基部上に、凸部11と凹部13との繰り返し構造をそれぞれ有する第1及び第2支持部10を備え、凸部11が基板と当接し、第1支持部10及び前記第2支持部10の間の空間に対して凹部13が負圧になるように凹部13が排気されることで基板を保持するチャックであって、第1支持部10および第2支持部10のうち少なくとも一方の支持部は、少なくとも4つの凸部11と3つの凹部13を有することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)