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1. (WO2017208706) 表面改質装置
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国際公開番号:    WO/2017/208706    国際出願番号:    PCT/JP2017/016943
国際公開日: 07.12.2017 国際出願日: 28.04.2017
B29C 71/04 (2006.01)
出願人: KASUGA DENKI, INC. [JP/JP]; 2-4, Shinkawasaki Saiwai-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2120032 (JP)
発明者: OGISO Satoru; (JP).
INAMURA Tatsuya; (JP).
YOSHIDA Junya; (JP).
SUGIMURA Satoshi; (JP)
代理人: SHIMA Nobuyuki; (JP)
2016-109115 31.05.2016 JP
(JA) 表面改質装置
要約: front page image
(EN)[Problem] To make it possible to directly release gas from a discharge electrode and to make the configuration thereof simple. [Solution] A discharge electrode E in an electrode chamber C is formed of a pair of electrode members 8 and 9 having lengths equal to or greater than a width of a film F. Also, the pair of electrode members 8 and 9 are disposed facing each other so as to sandwich a support member 4 therebetween, which has nearly the same length as the electrode members; a gap is formed in a section in which the pair of electrode members 8 and 9 face each other; and this gap is open at a tip of the discharge electrode so as to serve as a gas pathway 15. Meanwhile, in the aforementioned support member 4, a plurality of gas guiding holes 5 are formed in a longitudinal direction thereof, and the gas guiding holes are in communication with a gas supplying system.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de permettre la libération directe du gaz d'une électrode de décharge et de rendre sa configuration simple. La solution selon l’invention porte sur une électrode de décharge (E) dans une chambre d'électrode (C) formée d'une paire d'éléments électrode (8) et (9) ayant des longueurs égales ou supérieures à une largeur d'un film (F). De plus, la paire d'éléments électrode (8) et (9) est disposée de sorte que lesdits éléments électrode se fasse face de façon à prendre en sandwich un élément support (4) entre eux, qui a pratiquement la même longueur que les éléments électrode ; un espace est formé dans une section dans laquelle la paire d'éléments électrode (8) et (9) se font face ; et cet espace est ouvert à la pointe de l'électrode de décharge de manière à servir de passage de gaz (15). En outre, dans l'élément support (4) susmentionné, une pluralité de trous de guidage de gaz est formée dans sa direction longitudinale, et les trous de guidage de gaz sont en communication avec un système d'alimentation en gaz.
(JA)【課題】放電電極からガスを直接放出させるとともに、それを簡単に構成できるようにする。 【解決手段】 電極チャンバーC内の放電電極Eは、フィルムFの幅以上の長さを有する一対の電極部8,9からなる。そして、これら一対の電極部材8,9は、当該電極部材とほぼ同じ長さを有する支持部材4を挟持して対向配置されるとともに、これら一対の電極部材8,9の対向部分にすき間が形成され、このすき間をガス通路15として放電電極の先端に開放している。一方、上記支持部材4には、その長手方向に複数のガス誘導孔5を形成するとともに、このガス誘導孔をガス供給系統に連通させている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)