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1. (WO2017208349) 基板保持装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/208349    国際出願番号:    PCT/JP2016/066033
国際公開日: 07.12.2017 国際出願日: 31.05.2016
IPC:
G09F 9/00 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), B23Q 3/08 (2006.01)
出願人: SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 1, Takumicho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522 (JP)
発明者: YONEZAWA, Nobuhiro; (JP)
代理人: KOHNO, Hideto; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SUBSTRAT
(JA) 基板保持装置
要約: front page image
(EN)Provided is a substrate holding device capable of bending a substrate without generating torsion. The substrate holding device for suction-holding a substrate is provided with: a central frame comprising suction bodies for suction-adhering a substrate; a pair of side frames respectively disposed on both outer sides of the central frame with the central frame therebetween and comprising suction bodies for suction-adhering the substrate; and a coupling unit for coupling the central frame and each of the side frames so as to be capable of rotation around parallel axes. The side frames are provided with a sliding unit that slides in the directions towards and away from the central frame. The suction bodies provided to the side frames are disposed on the sliding unit.
(FR)L'invention concerne un dispositif de maintien de substrat capable de cintrer un substrat sans générer de torsion. Le dispositif de maintien de substrat, destiné à maintenir un substrat par aspiration, comporte: une ossature centrale comportant des corps d'aspiration destinés à adhérer au substrat par aspiration; une paire d'ossatures latérales disposées respectivement sur les deux côtés de l'ossature centrale, ladite ossature centrale se trouvant entre celles-ci, et comportant des corps d'aspiration destinés à adhérer au substrat par aspiration; et une unité de couplage servant à coupler l'ossature centrale et chacune des ossatures latérales de façon à pouvoir tourner autour d'axes parallèles. Les ossatures latérales sont munies d'une unité coulissante qui coulisse dans les sens se rapprochant et s'écartant de l'ossature centrale. Les corps d'aspiration qui équipent les ossatures latérales sont disposés sur l'unité coulissante.
(JA)捻じれを発生させることなく基板を湾曲させることができる基板保持装置の提供。 基板を吸着保持する基板保持装置において、基板を吸着する吸着体を備えた中央フレーム、中央フレームを間にして、中央フレームの両外側に夫々配されており、夫々が基板を吸着する吸着体を備えた一対の側部フレーム、及び中央フレームと側部フレームの夫々とを、互いに平行な軸の回りに回動可能に連結する連結部を備え、側部フレームは、中央フレームに対して接離する方向へ摺動する摺動部を備えており、側部フレームが備える吸着体を摺動部に設けてある。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)