このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2017182558) METHOD FOR DETECTING THE POSITION OF A MASK HOLDER ON A MEASURING TABLE
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2017/182558 国際出願番号: PCT/EP2017/059370
国際公開日: 26.10.2017 国際出願日: 20.04.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G01B 11/03 (2006.01) ,G03F 1/84 (2012.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,G01N 21/956 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
02
長さ,幅または厚み測定用
03
点の座標測定によるもの
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
1
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造に用いる原稿,例.マスク,フォトマスク又はレチクル;そのためのマスクブランク又はペリクル;特にそれに適合した容器;その準備
68
グループG03F1/20からG03F1/50に包含されない準備プロセス
82
補助的なプロセス,例.クリーニング
84
検査
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95
調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
956
物体表面のパターンの検査
出願人:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Straße 2 73447 Oberkochen BW, DE
発明者:
SOLOWAN, Hans-Michael; DE
代理人:
RAUNECKER, Klaus, Peter; DE
優先権情報:
10 2016 107 524.822.04.2016DE
発明の名称: (EN) METHOD FOR DETECTING THE POSITION OF A MASK HOLDER ON A MEASURING TABLE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE POSITION D'UN SUPPORT DE MASQUE SUR UN PLAN DE MESURE
(DE) VERFAHREN ZUR POSITIONSERFASSUNG EINES MASKENHALTERS AUF EINEM MESSTISCH
要約:
(EN) The invention relates to a method for detecting the position of a mask holder (1) for masks (2) for photolithography, comprising the following steps: Positioning the mask holder (1) with masks (2) on a measuring table of a measuring device; measuring the mask holder (1) by means of an algorithm; recording the absolute position of the mask holder (1) on the measuring table and capturing and recording at least one reference image.
(FR) L'invention concerne un procédé de détection de position d'un support (1) de masque pour des masques (2) destinés à la photolithographie, consistant : à positionner le support (1) de masque avec un masque (2) sur un plan de mesure d'un dispositif de mesure; à soumettre le support (1) de masque à une mesure au moyen d'un algorithme, à enregistrer la position absolue du support (1) de masque sur le plan de mesure, et à recevoir et enregistrer au moins une image de référence.
(DE) Die Erfindung betritt ein Verfahren zur Positionserfassung eines Maskenhalters (1) für Masken (2) für die Photolithographie, mit den folgenden Schritten: - Positionierung des Maskenhalters (1) mit Maske (2) auf einem Messtisch einer Messvorrichtung - Anmessen des Maskenhalters (1) mittels eines Algorithmus - Speicherung der Absolutposition des Maskenhalters (1) auf dem Messtisch - Aufnahme und Speicherung mindestens eines Referenzbildes.
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: ドイツ語 (DE)
国際出願言語: ドイツ語 (DE)